供应高温扩散炉、氧化炉，半导体扩散，高温加热炉体，真空炉，烧结炉

扩散炉--可控硅**扩散炉
扩散炉--青岛扩散炉--专业扩散炉，青岛晨立简单介绍：


一、管式扩散炉用途
管式扩散炉是我公司根据客户需求个性化专业定制的高温热处理设备，用于大规模集成电路、分立器件、电力电子、光电器件、光导纤维等行业中进行扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺，我公司的高温电炉关键部件全部采用进口部件，仿国外**热处理制造技术，已经被中科院、国内各大院校、国内多家**厂家选为长期供货商，专业团队设计制造，可根据客户不同需求定制，厂家直接供货，**。
 
二、管式扩散炉特点  

◆软着陆载片装置

软着陆送料装置，避免了SiC桨的遮挡影响，提高了扩散均匀性，同时桨的清洗周期大幅度延长。

◆高精度温度控制

新型炉体设计，提高了温度稳定性；配合高精度温控仪的使用，保证工艺过程中温度的快速稳定。

◆高性能进口元器件组合

关键件采用进口管件，且为半导体级别；优质的元器件组合，从而保证成膜质量。
         

三、管式扩散炉主要技术参数                             

◆工艺管数量：1-4管

◆工艺管口径：Φ90-360mm（3～12英寸）

◆结构型式：卧式热壁型

◆工作温度范围：400～1280℃

◆恒温区长度及精度±0.5℃/1080mm

◆工艺均匀性:≤±5％（30~60欧姆）

◆气体流量设定精度:±1％F.S

◆气路系统气密性： 1×10-7pa.m3/s

◆**净工作台：净化等级：100级（万级厂房）

          噪音：≤62dB（A）

          震动：≤3μm

◆控制方式： 工业微机控制

◆记录工艺曲线数量及工艺步数不受限制
青岛晨立电子有限公司可根据客户需求定制各种非标管式炉、高温炉、扩散炉、焊接炉、硒化炉、气氛炉、烤盘炉、扩散炉控制系统、真空炉、升华炉、隧道炉、氧化炉、退火炉、LPCVD炉、氢气炉、工业炉体等各种工业电炉、实验电炉等高温设备。专业团队个性化定做，厂家直接供货，欢迎广大客户来电来函。
扩散炉炉体
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一、炉体材料:

★   炉丝：Φ8～Φ10mm康泰尔/吉泰安高温电热合金丝。
★   绝缘子:采用99瓷制作，碳化硅管用高脚，石英管用矮脚。
★   保温棉: 采用英国摩根公司生产的高温保温材料。
★    外壳: 304不锈钢板卷制而成,连接处采用不锈钢拉铆钉连接。
★    热偶座：进口弹簧卡状固定座。
★    把口环：陶瓷纤维把口环，既保温，又有一定机械强度。 
二、炉体参数:
★     工作温度：   ≤1300℃
★      恒温区长度： 500mm-1000mm
★    炉体内径：   Φ90～Φ360 mm（3～12英寸）
★   规范使用：   寿命可达20个月以上（1200℃）
★   替代进口：   *配套
三、应用：
       青岛晨立电子有限公司生产的炉体主要用做半导体、功率器件、集成电路等行业中管式热壁系统的加热装置。可与美国TEMPRESS、THERMCO，荷兰ASM，英国BTU等国外多种型号扩散炉配套（替代进口），采用国外**的加工工艺，选用进口材料，可应用于处理3～12英寸硅片的扩散炉/太阳能电池片扩散炉。

青岛晨立电子有限公司成立于2009年，是半导体设备及零部件、电子设备及电子元器件生产、研发、销售厂家。为客户提供先 进材料热处理、高 精 度电加热设备及系统集成等全 套解决方案。
主要产品：高低温扩散炉、实验炉、共晶炉、烧结炉、加磁炉、高 精 度智能温度控制系统和替代进口的扩散炉炉体等，同时承接各种微电子生产线，进口半导体专 用设备的翻新升级改造及各大专院校科研院所的非标研发定制工作。
 
公司本着和谐、共赢，以“质量求发展、以诚信为根本、以客户为中心、以用户满意”为较终目标的企业方针，为客户提供优 质的产品，优良的服务。