用途: 该设备用于半导体生产工艺过程中的高温扩散,烧结,退火等工艺。该系统具有精确仪表控制系统,具有高密封性和抗腐蚀性的高纯气路系统。该设备主要适合于8英寸工艺硅片的处理。 结构形式:立式 使用温度:1200℃ 恒温区:750mm 控温精度:±2℃
青岛晨立电子有限公司成立于2009年,是半导体设备及零部件、电子设备及电子元器件生产、研发、销售厂家。为客户提供先 进材料热处理、高 精 度电加热设备及系统集成等全 套解决方案。 主要产品:高低温扩散炉、实验炉、共晶炉、烧结炉、加磁炉、高 精 度智能温度控制系统和替代进口的扩散炉炉体等,同时承接各种微电子生产线,进口半导体专 用设备的翻新升级改造及各大专院校科研院所的非标研发定制工作。 公司本着和谐、共赢,以“质量求发展、以诚信为根本、以客户为中心、以用户满意”为较终目标的企业方针,为客户提供优 质的产品,优良的服务。