高真空退火炉 卧式6寸两管退火炉 晨立电子

 用途： 

  高真空退火炉供大规模集成电路、MEMS 生产线用做6"硅片的合金、氧化、退火、烧结、扩散等工艺使用。同时也可下沉工艺，完成4寸wafer 的相应工艺。
一、设备结构:
1、操作方式:左(右)手操作方式
2、硅片尺寸:圆形6寸片
3、工艺布局:满足客户工艺要求
4、自动化程度:工控机控制系统自动控制工艺流程
5、送取片方式:手动进出舟。
6、外形:主机1台，主机架为卧式两管。
二、主要技术参数:
1、加热炉管有效口径:满足6英寸硅片。可向下兼容5寸和4寸硅片。
2、工作温度范围: 200~800℃         
3、恒温区长度及精度: 600mm，           
4、控制方式:由工控机统一管理工艺

5、真空度：2*10-4 Pa

青岛晨立电子有限公司成立于2009年，是半导体设备及零部件、电子设备及电子元器件生产、研发、销售厂家。为客户提供先 进材料热处理、高 精 度电加热设备及系统集成等全 套解决方案。
主要产品：高低温扩散炉、实验炉、共晶炉、烧结炉、加磁炉、高 精 度智能温度控制系统和替代进口的扩散炉炉体等，同时承接各种微电子生产线，进口半导体专 用设备的翻新升级改造及各大专院校科研院所的非标研发定制工作。
 
公司本着和谐、共赢，以“质量求发展、以诚信为根本、以客户为中心、以用户满意”为较终目标的企业方针，为客户提供优 质的产品，优良的服务。