SIC高温氧化炉-氧化扩散炉-科研电炉 晨立电子

扩散炉系列设备用途：用于大规模集成电路、太阳能电池片、电力电子、光 电器件、光导纤维等行业的氧化、扩散、烧结、合金等工艺。 设备特点：单元组合方式。根据工艺的不同，可以在主机的基础上配气源柜、**净工作台、悬臂推拉舟等。

主要技术指标：

★ 炉管数： 1～4管

★ 配工艺管口径：Φ90～360 mm (3～12英寸)

★ 恒温区长度： 760～1000 mm±1.0℃ (300～800℃) 760～1000 mm±0.5℃(800～1280℃)

★ 单点稳定性： ±1.0℃/24h (300～800℃) ±0.5℃/24h (800～1280℃)

★ 气源路数： ≤7路，可配恒温源瓶、氢氧合成点火器

★ 气体控制： 浮子/质量流量计

★ 悬臂舟参数： 速度： 20～1000 mm/min 较大行程：2000 mm 定位精度：±1 mm 较大载荷：17 Kg

★ **净工作台： 净化等级：100级（万级厂房）噪音： ≤62dB（A）振动： ≤3μm

青岛晨立电子有限公司成立于2009年，是半导体设备及零部件、电子设备及电子元器件生产、研发、销售厂家。为客户提供先 进材料热处理、高 精 度电加热设备及系统集成等全 套解决方案。
主要产品：高低温扩散炉、实验炉、共晶炉、烧结炉、加磁炉、高 精 度智能温度控制系统和替代进口的扩散炉炉体等，同时承接各种微电子生产线，进口半导体专 用设备的翻新升级改造及各大专院校科研院所的非标研发定制工作。
 
公司本着和谐、共赢，以“质量求发展、以诚信为根本、以客户为中心、以用户满意”为较终目标的企业方针，为客户提供优 质的产品，优良的服务。