程控扩散炉 卧式扩散炉

设备用途： 

扩散炉是半导体加工中的典型热处理设备，用于大规模集成电路、分立器件、电力电子、光电器件、光导纤维等行业中进行扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺。

产品描述：

◆软着陆载片装置

软着陆送料装置，避免了SiC桨的遮挡影响，提高了扩散均匀性。同时桨的清洗周期大幅度延长。

◆高精度温度控制

新型炉体设计，提高了温度稳定性；配合高精度温控仪的使用，保证工艺过程中温度的快速稳定。

◆高性能进口元器件组合

关键件采用进口管件，且为半导体级别；优质的元器件组合，从而保证成膜质量



主要技术参数:



◆工艺管数量：1-4管

◆工艺管口径：Φ90-360mm（3～12英寸）

◆结构型式：卧式热壁型

◆工作温度范围：400～1280℃

◆恒温区长度及精度±0.5℃/1080mm

◆工艺均匀性:≤±5％（30~60欧姆）

◆气体流量设定精度:±1％F.S

◆气路系统气密性： 1×10-7pa.m3/s

◆**净工作台：净化等级：100级（万级厂房）

噪音：≤62dB（A）

震动：≤3μm

◆控制方式： 工业微机控制

◆记录工艺曲线数量及工艺步数不受限制

青岛晨立电子有限公司可根据客户需求定制、改造各种非标扩散炉，扩散炉系统，热烈欢迎新老客户致电商讨。

青岛晨立电子有限公司成立于2009年，是半导体设备及零部件、电子设备及电子元器件生产、研发、销售厂家。为客户提供先 进材料热处理、高 精 度电加热设备及系统集成等全 套解决方案。
主要产品：高低温扩散炉、实验炉、共晶炉、烧结炉、加磁炉、高 精 度智能温度控制系统和替代进口的扩散炉炉体等，同时承接各种微电子生产线，进口半导体专 用设备的翻新升级改造及各大专院校科研院所的非标研发定制工作。
 
公司本着和谐、共赢，以“质量求发展、以诚信为根本、以客户为中心、以用户满意”为较终目标的企业方针，为客户提供优 质的产品，优良的服务。