供应热蒸发电子束蒸发镀膜系统

产品概述
HHV Auto系列是一种多功能镀膜设备（可选热蒸发/电阻蒸发和电子束蒸发系统），设计用于满足科研工作者和电子显微学家的需求。
Auto系列可配备各种真空系统、真空腔室和标准化工艺附件，提供一系列实验技术以满足现代化实验室的需要。
Auto3系列可选择配置钟罩式玻璃腔室、圆柱形玻璃腔室，也可以配置通用的FL400前开门式不锈钢箱式腔室。FL400腔室具有额外的高度与宽度，适用于安装较多的工艺附件。
客户可选择的模块化工艺附件，包括热阻蒸发源及其控制电源、3kW EB3电子束蒸发源、遮挡板、基片夹具以及膜厚监控仪等。
真空系统由触屏PLC控制和监控，易于操作；高真空泵选择包括扩散泵、涡轮分子泵、冷凝泵，并使用油封或干式泵作为支持泵。集成的具有备用电池的高真空阀门可在意外情况时保护泵和样品。
 产品特点
触屏PLC自动控制真空系统
多种可选薄膜沉积源和电源
多种可选样品夹具
多种可选真空腔室
智能高真空阀门保护泵及样品
紧凑型设计，较小化空间占用
*压缩空气
完整的*使用互锁保护
 技术参数
极限真空
600 l/s 扩散泵：2×10E-7 mbar
500 l/s 涡轮泵：2×10E-7 mbar
250 l/s 涡轮泵：2×10E-7 mbar
 
抽真空时间
大气压到1×10E-5 mbar：4分钟
大气压到1×10E-6 mbar：25分钟

2001年成立于北京，主要是致力于半导体电子产品制造及测试设备、真空产品等业务，为广大的中国客户提供**上较**的产品和服务。公司的经营哲学为：依靠经验丰富的**团队，为中国市场提供**的产品服务及技术支援，全力维护与客户及供应商的长期合作伙伴关系。 
主要产品： 
1）英国Dage公司Dage4000/4000plus 推拉力测试机（键合力测试仪、拉力剪切力测试仪） 
2）德国ATV公司 真空共晶回流炉（型号：SRO700/704/706/708） 
3）德国YXLON公司（Feinfocus）X光无损检测系统/3D CT X光无损检测系统 
4）瑞士Tresky公司**手动/自动贴片机（T-3000-FC,T-3002，T-3202，T-6000，T-8000） 
5）德国F&K公司**手动/自动引线键合机（含金丝球焊键合机、粗/细铝丝键合机、楔焊键合机、金带键合机，型号包括：53XX BDA，5310,5350，5610,5630,5650等） 
6）美国Sonoscan公司超声波扫描成像显微镜（D9500,Gen5等） 
7）德国PINK公司微波等离子清洗机（V6/V15/V55） 
8）美国UBI Benchmark公司平行缝焊，储能焊系统（SM8500，RP3000） 
9）美国Baron Blakeslee公司气相清洗机 
10）美国Temescal公司电子束蒸发镀膜机（沉积系统） 
11）美国4Wave公司离子束刻蚀/沉积系统 
12）英国Thermco公司LPCVD，扩散炉，氧化炉，退火炉 
13）英国HHV公司真空镀膜系统 
14）意大利Baccini公司LTCC丝网印刷机，LTCC打孔机，LTCC叠层机 
15）德国ATV公司 LTCC等静压烧结炉 
16）德国3DMM公司激光精密加工系统（激光打标、钻孔、划片、切割） 
17）德国Nanophotonics公司表面缺陷检测系统 
同时我公司拥有多年的封装测试相关的生产和试验线的设计经验，能帮您提供生产线相关的解决方案。欢迎您的咨询！