湖北氦气检漏仪-华诚浩达真空设备公司-正压氦气检漏仪

氦质谱检漏仪简介

专门设计的以氦气作示踪气体进行检漏的质谱仪称为氦质谱检漏仪，运用质谱原理制成的仪器称为质谱计或质谱仪。质谱仪通过其部件质谱室，使不同质量的气体变成离子并在某种场中运动后，不同质荷比的离子在场中彼此分开，而相同质荷比的离子在场中汇聚在一起，如果在适当位置安置接收所有这些离子，就会得到按照质荷比大小依次分开排列的质谱图，湖北氦气检漏仪，这就是质谱。用于检漏的质谱仪称为质谱检漏仪。

氦质谱检漏仪的优点集中体现在这4个方面

　（1）便携式：很多小型便携式检漏仪不仅灵敏度高，而且便于携带，给野外作业和高空作业提供了比较大的方便。　　（2）高压强下检漏：检漏口压强可高达数百帕左右，正压氦气检漏仪生产厂家，对检测大系统和有大漏的工件很有益。　　（3）自动化程度高：自动校准氦峰，自动调节零点，量程自动转换，自动数据处理，可外接打印机。整机由微机控制，菜择功能，一个按钮即可完成一次的全检漏过程。　　（4）全无油的干式检漏：有些国家生产的检漏仪，可采用干式泵，达到无油蒸气的效果，为无油系统及芯片等半导体器件的检漏，提供了有利条件。　　为适应检漏口压强的变化和对灵敏度要求的不同，分子泵一般采用多级构造和几种不同的转速。例如可通过采用改变分子泵转速来达到此目的，且提高检漏灵敏度。另外，逆扩散检漏方式，实现了高压强下检漏，也为正压吸检漏提供了良好的条件。

氦质谱检漏仪的选择

选择氦质谱检漏仪时主要考虑以下问题：

（1）仪器的功能能满足检漏的要求。如有些仪器没有逆流检漏功能，就不适合吸法检漏；有些仪器没有报废漏率的设置功能，不宜作为批量产品筛选检漏用；流水线上要求一定的检漏速度，此时应选择有多工位的检漏仪。

（2）仪器的灵敏度能满足检漏的要求。国内外生产的不同类型的氦质谱检漏仪的灵敏度是不一样的，如果检漏要求的灵敏度较高，正压氦气检漏仪，就要认真选择。

（3）被检件如果害怕油的污染，就应选择无油真空系统的检漏仪。

（4）被检件容积如果较大，必须选用预抽泵抽速大的检漏仪，否则就要外加预抽泵。

（5）如果被检对象不固定，体积时大时小，灵敏度要求时高时低，就要选择功能较全、灵敏度较高、检漏范围宽的检漏仪。

（6）如果检漏地点不固定，需要经常搬运仪器时，就要选择小型便携式仪器。

（7）在满足上述检漏基本要求的基础上，还要综合考虑仪器的价格是否低、操作是否简易、维修是否方便等方面的问题。

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