氦质谱检漏仪的构成
氦质谱仪电气部分的是质谱室的供电和测量,正压氦质谱检漏仪哪家好,其他部分包括真空系统的电源与控制部分,操纵面板及输出仪表等。主要含有小电流放大器及输出装置、低频发生器、高压整流器及发射电流稳定装置、高压整流器供给冷阴极磁控规电源。在氦质谱仪检漏技术中,根据被检件的结构,尺寸要求和具体的检漏条件,设置具有预抽被检件、保证检漏仪工作真空度、气体分流、缩短反应时间和清除时间、降低对灵敏度的不良影响等功能的辅助真空系统,在某些条件下是非常必要的。
氦质谱检漏仪的结构
氦质谱检漏仪的电气部分。氦质谱检漏仪除了主机供电部件和主机控制部件外,还有几组主要电路:
1、离子源电源。为离子源提供加速、聚集、拒斥电压。
2、发射电流稳定电路。稳定和调节发射电流。
3、离子流放大器和单响报警器。将离子流进行放大并将输出信号送入输出仪表或显示器和音响报警器。
4、真空测量电路。一般用热偶计测量低真空,用冷阴极磁控放电真空计测量高真空。
5、灯丝保护电路。当质谱室正常工作压力被破坏后,立即切断灯丝供电回路,氦质谱检漏仪哪家好,以保护灯丝。
6、其他电路。不同型号的氦质谱检漏仪所具有的功能不尽相同,正压氦质谱检漏仪哪家好,所以电路也有不少差别,这在各自的说明书中都有说明。
氦质谱检漏仪概述
氦质谱检漏仪为气体工业领域名词术语,用氦气或者氢气作示漏气体,以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。氦气的本底噪声低,分子量及粘滞系数小,因而易通过漏孔并易扩散;另外,氦系惰性气体,不腐蚀设备,故常用氦作示漏气体。将这种气体喷到接有气体分析仪(调整到仅对氦气反应的工作状态)的被检容器上,若容器有漏孔,则分析仪即有所反应,从而可知漏孔所在及漏气量大小。
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