低流量质量流量计Alicat

产品简介
性能较佳的质量流量控制器只需将流量保持在您的设定值。Alicat MC系列气体质量流量控制器可快速达到新的设定值，并保持该设定值，即使在压力突然增加的情况下，亦如此。我们将根据您的应用参数为您定制阀门和PID调节功能，确保相关产品能快速实现稳定控制。

多功能：监控流速的同时控制压力；可选择另一台已知路程气体校准仪或者利用COMPOSER™气体编辑器确定自己的气体组成。

连   接：利用以太网/IP、EtherCAT、DeviceNet、Profibus、Modbus（RTU和TCP/IP）或串行通讯选项，可将这款产品轻松整合到您的数字工业网络中。

耐   用：MC系列气体质量流量控制器可在不受损的情况下让液体暂时流动。为保证对环境影响的耐受性，我们可为您的质量流量控制器构建IP66等级防护。

性能指标
流量精度：±0.8% R.D and ±0.2% F.S ； ±0.4% R.D and ±0.2% F.S（用于≥5 SCCM型号）
重复性：±(0.2% R.D + 0.02% F.S)
控制范围：0.01–**F.S
响应时间：<10 ms；与流量相关
温度精度：±0.75°C
压力精度：±0.5 %R.D（＞ 1 Atm）/ ±0.07 PSIA（＜ 1Atm）
工作温度：−10–60°C
预热时间：<1 s

电气参数
电源：12–24 V；250 mA (如果配备 4–20 mA，则为290 mA )
数字通讯：RS-232 ； RS-485 ； Modbus RTU (RS-232 / RS-485), Modbus TCP/IP, DeviceNet, EtherCAT, EtherNet/IP, Profibus
模拟通讯：4–20 mA； 0–5 V；1–5 V； 0–10 V
电气接口：6 pin locking； 8 pin mini-DIN； 8 pin M12；DB-9；DB-15