低成本气体质量流量计质量流量控制器

产品简介
FAC系列采用毛细管热温差式传感器，测量精度不受温度和压力影响，基体采用316L不锈钢，适应有毒和腐蚀性气体，较大工作压力可达750 Psi。模拟测量控制电路，输出信号0~5V/4~20mA，电气接口部分采用浪涌抑制和过压过流保护电路，确保系统稳定可靠运行。FAC系列已通过CE和Rohs认证，是低成本应用的解决方案。
工作范围
型号：FAC-320
较大满量程（N2标准）：30 SLM
较小满量程（N2标准）：10 SCCM
较大工作压力：750 Psi / 50 Bar
注：SCCM（标准毫升每分钟） SLM（标准升每分钟） 标准状况（0℃、101.3Kpa）
性能指标
流量精度：±1%  F.S 
重复性：±0.2% F.S
控制范围：2%~** F.S
响应时间：<2s
温度系数：Zero: <0.05% of F.S./℃. Span: <0.1% of S.P. /℃
压力系数：0.2% of S.P. / Bar
工作温度：0~50 ℃
泄漏率：1x10-9 atm. cc/sec He
预热时间：5 min精度达到±2% F.S（30 min达到较佳精度）
电气参数
电源：＋15~24V dc
较大功耗：10W（MFC）；3W（MFM）
模拟信号：0-5V / 4-20mA
电气接口：9Pin D-Connector（Male）
机械参数
阀门类型：常闭阀（MFM无意义）
基体材质：316L不锈钢
密封材质：氟橡胶；三元乙丙橡胶；丁腈橡胶
气路接口：1/8、1/4、3/8、φ3、φ6、φ9卡套或VCR