RKD化学开封机特点:
能够产生复杂的刻蚀开口形状
不破坏Al,Cu,Au而暴露内部结构
有利于随后用酸的清除操作,能够用于低温、低腐蚀条件
可选组件能够进行完**够生产各种复杂形状的型腔
激光刻蚀系统设计用于有效的进行IC器件的,既可以用于单个器件也可以用于多个器件。
系统心脏为一个Nd:YAG10nm二极管抽运激光头,它被安装在有完全激光屏蔽保护的腔体里,符合VBG93、DINEN和CE标准。
集成的光学观察系统可以保证稳定的监测样品。也可以将X光或超声波图像叠加在要的器件的图像上,可以为成功的提供额外的数据。
视觉失效分析软件包含画图工具,可以在器件图片上绘图,用于定位要去除的材料。实际被去除的材料总量可以通过摄像机的聚焦-景深技术或额外的机械仪表进行测量。
系统软件控制所有的程序参数,如功率、频率、扫描速度、聚焦距离等。所有程序参数都能够以特定材料和产品名存储,以便容易的调用。
激光刻蚀之后,芯片表面能够用湿法刻蚀在低温下暴露出来,可以手动(滴上适当的酸液)或自动(用自动酸机)进行,避免机械或电性变化。
RKD化学开封机芯片机销售芯片:去除IC封胶,同时保持芯片gong能的完整无损,保持,bondpads,bondwires乃至lead-frame不受损伤,为下一步芯片失效分析实验做准备。
SEM扫描电镜/EDX成分分析:包括材料结构分析/缺陷观察、元素组成常规微区分析、测量元器件尺寸等等。
tan针测试:以微tan针快捷方便地获取IC内部。镭射切割:以微激光束切断线路或芯片上层特定区域。
EMMI zhence:EMMI微光显微镜是一种效率较高的失效分错析工具,提供高灵敏度非破坏性的故障定位方式,可zhence和定位非常微弱的发光(可见光及近红外光),由此捕捉各种元件缺陷或异常所产生的漏电流可见光。·
OBIRCH应用(镭射光束诱发阻抗值变化测试):OBIRCH常用于芯片内部高阻抗及低阻抗分析,线路漏电路径分析。利用OBIRCH方法,可以有效地对电路中缺陷定位,如线条中的空洞、通孔下的空洞。通孔底部高阻区等,也能有效的检测短路或漏电,是发光显微技术的有力补充。
机器尺寸():190x###305
温度范围:
1,发烟硫酸:室温-250c.2
2,:室温- 90C.
3,混酸:室温- 100C(RKDETCH)
4,混酸(**):10C至100C (RKDCU) 选项
抽酸流量: 1-6/minute
蚀刻头组件:固定式碳化硅
N2气体支持:2.0lpm(安全盖子+泵),60-70Psi
RKD化学开封机产品应用:
(1)半导体器件的失效分析(盖)。塑封材料的去除,取代传统的低效率化学品,解决化学品对铜线及内部器件的破坏。
(2)塑封工艺设计和工艺参数有效性的验证。解决X-RAY无法检测铝线塑封后冲丝/塌陷的问题,完全后对铜线/金线的打线点的仔细观察也成为了可能。
(3)产品测试程序可靠性标样的制备。通过激光对微区的线路修改,制备已知失效模式样品标样,对测试机台及程序做定期验收。
(4)微区焊接,修补。实现实验后失效样品的电特性恢复以节省漫长的重新抽样实验。
(5)失效点定位及隔离。通过使不同位置的连接线部分暴露,实现点与点之间的通断性测试以确定失效点。
(6)应用于模块使用厂家,进料检验时完全打开器件以观察内部是否存在设计或生产缺陷。
激光机IC开盖开帽设备塑封
半导体业的铜制成芯片越来越成为发展主流,这给失效分析中器件带来越来越高的挑战。传统的酸已经没有办法完成铜制成器件的,良率一般**30%。此时仪准科技推出的激光机,给分析产业带来了新的技术。
产片特点:
1、对铜制成器件有很好的效果,良率**90%。
2、对环境及人体污染伤害交小,符合环保理念。
3、效率是普通酸机台的3~5倍。
4、电脑控制形状、位置、大小、时间等,操作便利。
5、设备稳定,故障率远**酸机台。
6、几乎没有耗材,runningcost很低。
7、体积较小,容易摆放。
捷纬科技有限公司(G-WELL TECHNOLOGY CO., LTD)于2012年5月29日注册于中国香港。 是半导体、、汽车和电子领域,专业提供电子产品检测、失效分析和可靠性解决方案供应商;产品涵盖**的非破坏性,破坏性失效和可靠性分析的设备以及相关流程方案。 捷纬科技拥有一批**过十五年丰富经验的半导体封装行业和失效分析领域的应用支持及服务人员; 捷纬科技不仅为客户提供设备品质保证和控制,而且为客户提供失效分析,研发能力的提高、产品质量改善的成功,较能为相关检测和分析流程提供应用技术支持和行之有效的顾问等附加值服务。 捷纬科技旗下品牌GLASER(格镭)激光开封机系统是**早和新加坡,德国,英国研发的生产厂家。捷纬科技拥有目前世界上**的激光开封机设计理念和制造技术。设计较全面、更多功能的操作平台。捷纬科技以的技术、丰富的经验、客户为先的应用,为用户提供技术支持,现有**过80% 的GLASER(格镭)激光开封机在被投入使用。成为Apple公司在的*供应商。 1)2012----半导体铜线的应用,开发出世界上台可以商业化使用的激光开封机系统,成为行业的一个标准。 2)2013----推出LASER ETCH II系列,功率10W,是当时行业精度的激光开封机系统。 3)2015----半导体银线的应用,推出GLOBAL ETCH II系列,功率20W,同轴同焦,实时操作激光开封机系统,成为Apple公司在的*供应商。 4)2016----金属封装的应用,推出GLOBAL ETCH III系列,功率20W/50W可切换,较完善的软件和硬件系统。 捷纬科技执着的追求,做到 “专业、专注、专精”