陕西半自动花篮清洗机怎么收费 江苏芯梦半导体设备供应

FOUP内油脂和**物的去除方法可以采取以下措施：清洗剂清洗：使用适当的清洗剂可以有效去除FOUP内的油脂和**物。选择合适的清洗剂，根据FOUP的材料和所需清洗的**物类型来确定。清洗剂通常会溶解或分解油脂和**物，并通过冲洗或浸泡的方式将其从FOUP表面去除。超声波清洗：超声波清洗不仅可用于去除颗粒物，也可用于去除FOUP内的油脂和**物。超声波的震动作用可以在微小尺度上产生冲击波，从而将油脂和**物从FOUP表面剥离。蒸汽清洗：蒸汽清洗是一种将热蒸汽引入FOUP内部的方法，利用高温和湿热的效果去除油脂和**物。蒸汽可以使油脂和**物软化，从而较容易被清洗剂或冲洗水带走。溶剂清洗：一些**物可以通过溶剂清洗来去除。选择适当的溶剂，如酒精、异丙醇等，根据**物的性质进行清洗。溶剂可以帮助溶解和分离油脂和**物，然后通过冲洗或浸泡的方式将其去除。气相清洗：气相清洗使用气体，如氮气或惰性气体，通过高速喷射或气流吹扫的方式，将油脂和**物从FOUP表面带走。气相清洗适用于较轻的污染物和难以直接接触的区域。选择我司设备，让你的生产较加灵活、多样化！陕西半自动花篮清洗机怎么收费

半自动晶圆盒/晶舟盒清洗机

（Semi-autoFOUP/Cassette/PODCleaner）

适用场景：在密闭的空间用DIW对Foup进行清洗和干燥

设备特点：

1、清洗对象：12寸FOUP

2、设备主要构成：清洗腔、真空腔、自动充N2、上下料口、6轴机械手等机构组成

3、清洗能力：24只FOUP/小时（依配置的清洗腔中真空腔数量而定）

4、干进干出；

5、可与AMHS对接、可人工上料；

6、FOUP本体和Cover自动分离和清洗；

7、Chamber具备DIW喷淋、甩干以及真空+IR干燥功能；

8、可预设多条Recipe,操作简洁；

9、选配SECS/GEM接口；

10、实时记录生产数据，多种数据分析功能；

11、可实现工件数据追溯，具有过点信息、状态监控、故障汇总、订单下发等功能12、设备外形尺寸：L4000mmXW3600mmXH3300mm 陕西半自动花篮清洗机怎么收费江苏芯梦期待与您共同解决晶圆盒清洗问题！

全自动晶圆盒清洗机（Fully Automated FOUP Cleaner）[1]:适用场景：用DIW/**溶剂（可选）实现FOUP清洁，通过高速旋转/红外灯管/CDA等多种技术实现FOUP干燥。设备特点：清洗对象：6/8/12半自动FOUP/Cassette/POD。设备主要构成：旋转鼠笼(便捷式可180°旋转后固定结构)、DIW喷淋系统、红外加热干燥系统、**溶剂清洗系统（可选）等机构组成。清洗能力：8只FOUP/小时（依配置的清洗腔真空腔数量而定）。干进干出。人工分离FOUP、POD，人工上下料及更换工装。旋转式离心清洗，可正反调速旋转，对于产品表面的附着残留物容易去除。工装设有防呆机构，防止人工将清洗件放置错误。鼠笼设有旋转到位防呆检测。动平衡侦测转篮未定位保护，降低因人为导致设备损坏。主轴以伺服马达控制达到稳定加减速及转速数值化设定控制，主轴震动值可监测。可预设多条Recipe，操作简洁。选配SECS/GEM接口。可实现工件数据追溯，具有过点信息、状态监控、故障汇总、订单下发等功能。

FOUP清洗机特性：可清洗FOUP/FOSB/RSP/Cassettes 及其他可装载于清洗篮之制品。伺服马达驱动,设有扭力侦测安全机构，防止人为误操作造成损坏及危险。具备停机自动归位功能，方便装载清洗制品。旋干制程中除IR干燥外，运用气流干燥，可加速去除较大水滴，增进干燥效果; 进而提升效率。

应用范围：该设备主要用于半导体制程的FOUP、FOSB、Cassette的Particle清洗。

分类：

全自动FOUP清洗机、半自动foup清洗机。

4寸~12寸全尺寸兼容，快速实现干进干出，30~60分钟完成1次清洗工艺节拍，较大吞吐量 芯梦设备具有高度定制化功能，满足你不同生产需求！

产品说明 

8-12 Inch 单片晶圆dry-in/dry-out清洗平台，适用于**封装制程的particle、**、无机、助焊剂等污染物清洗。可选配二流体、megasonic、**高压喷洗、RCA 、Hot water及蒸气等清洗方式，清洗工艺窗口宽，清洗能力强，占地面积小，*等特点。

功能说明

制程均匀度可用 recipe 调控。

良率** wet bench type。

单片模式之机况可控制可追溯。

制程个别参数易于调整。

可控制之药液量使用,能保持每片芯片之相同制程环境。

洁净度控制**批次生产。

Footprint 较小。

适用于 wafer dry in / dry out制程。

机台之安全性** bench type。

为未来湿式高阶设备之主流机台。 我司设备采用**技术，助你轻松提升生产效率！北京晶圆盒清洗机哪个好

芯梦设备具有快速调整功能，适应不同生产规格！陕西半自动花篮清洗机怎么收费

优点

装载晶圆直径至200mm的花篮和片盒一或不同晶圆尺寸的花和片盒，同时可装载晶圆直径至300mm的**开口片盒(Foup片盒)三种设备尺寸满足客户特殊需求

CleanStepl-用于4组花篮和片盒加载和清洗能力:每次4组花和片盒清洗产能:每小时12组花篮和片盒、>、CleanStepll-用于8组花篮和片盒加载和清洗能力:每次8组花篮和片盒清洗产能:每小时24组花篮和片盒

CleanStepIl-用于6组**开口片盒(Foup)加载和清洗能力:每次6组**开口片盒(Fup片盒)清洗产能:每小时18组**开门片盒(Foup片盒)

适用于晶圆直径至200mm的花篮和片盒的标准旋转笼(CleanstepI/II)

适用于所有片盒一次清洗过程

或是同时4组花篮和片盒，或是12个花跨(CleanstepI/II)

简单快捷的对不同尺寸的片盒和花篮进行切换

旋转笼内的可旋转载体方便加载或卸载花篮和片盒

通过控制系统对自锁装置的检测，达到安全加载片盒和花篮，、 陕西半自动花篮清洗机怎么收费

江苏芯梦/JSXM，成立于2019年8月，位于苏州吴中经济开发区，致力于提供晶圆制造、集成电路制造、**封装及大硅片制造领域湿法制造环节工艺设备的综合解决方案。

江苏芯梦成立三年来高速发展，现有员工人数近300人，其中40%为技术研发人员，近3年营收复合增长率****。江苏芯梦始终坚持创新，不断攀登半导体湿法装备技术高峰，*的国内首台全自动ENEPIG化学镀设备目前市场占有率国内；*的全自动FOUP清洗设备成功打破国外垄断，并已进入国内半导体企业应用。

江苏芯梦高度重视技术创新和知识产权保护，并获得了国家**企业、江苏省双创人才企业、江苏省潜在*角兽企业、江苏省民营科技企业、江苏省三星级上云企业、姑苏创业人才企业、苏州市企业工程技术研究中心、苏州市瞪羚计划入库企业、东吴科技人才企业等多项荣誉资质。