全自动晶圆卡塞清洗机

全自动晶圆卡塞清洗机性能卓越，价格具有竞争力，采用国际本多换能器，优质发生器，具有经济的特点，公司承诺为全自动晶圆卡塞清洗机提供一年免费保养，终身维护.完善的售后服务，博得广大客户的青睐。

全自动晶圆卡塞清洗机特征：

1.适合无尘室清洗作业

2.采用过滤循环系统

3. 全自动晶圆卡塞清洗机数字显示温度控制指示器

4.故障报警诊断功能

5. 全自动控制、10英寸彩色触摸屏控制面板

6. 所有槽体、喷淋管道全部SUS304材质

7.加强型不锈钢网带输送（不伤产品）

8. 全自动晶圆卡塞清洗机通过性好，风高度可以设计为自动调节

9. 大小托盘可以共用，托盘水平摆放清洗

10. 输送速度2米/分钟（±30%可调节）

11. 全自动晶圆卡塞清洗机网带宽度：400mm，600mm，800mm，1000mm，1200mm可选

12.无需压缩空气，避免二次污染

13. 自动清洗，100%干燥，避免人工清洗不彻底，返工现象

14.产品完全干燥无水痕

15.可以根据客户要求出入口采用机械手自动上下料

全自动晶圆卡塞清洗机规格与参数：

1. 尺寸：约10880(L)×1800 (W)×2300 (H)（外形尺寸可以根据实际场地要求调整）

2.供电：380V 50HZ 三相五线

3. 全自动晶圆卡塞清洗机总功率：约 60-120KW

4. 重量：约3-6吨

5.纯水用量：约5L/分钟

全自动晶圆卡塞清洗机电控柜说明：

1）.独立控制柜,有手动和自动切换功能

2）.本系统采用德国“西门子”PLC和触摸屏,能控制显示清洗机各工位运行状态

3）.储液槽安装液位控制器，液位高低控制均接入PLC，加热及泵浦按即定程序运行，并设有蜂鸣器、配三色工作指示灯，声光报置

4）. 全自动晶圆卡塞清洗机上下料处安装紧急停车按钮

5）.清洗机操作按钮分布在电控柜外侧，布置在清洗机进口操作工位一侧，控制盘加密码锁定，防止非授权人员修改并设定运行参数

6）.考虑到屏柜内设备的散热问题，屏柜设有散热窗口及加装散热风扇

7）.设备照明：电器柜内——日光灯，电气柜内维修照明及插座

8）. 全自动晶圆卡塞清洗机操作按钮有明显标识.

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