激光干涉仪以光波为载体,其光波波长可以直接对米进行定义,且可以溯源至国家标准,是高精度、高灵敏度的测量仪器,在制造领域应用广泛。中图SJ6000激光干涉仪国产品牌配备的EC20环境补偿单元,由环境补偿主机(内置湿度传感器和气压传感器)、空气温度传感器和3个材料温度传感器组成,可实现对空气温度、湿度、大气压力和材料温度的实时高精度检测。 精度高 以干涉技术为核心,其光波可直接对米进行定义。采用激光双纵模热稳频技术,可实现高精度、抗干扰能力强、长期稳定性好的激光频率输出;采用高精度环境补偿模块,可实现激光波长和材料的自动补偿;干涉镜与主机分离设计,避免干涉镜受热影响,保证干涉光路稳定可靠。 SJ6000激光干涉仪除了环境适应能力好,还可以进行动态高速测量,选配相应的功能模块元件后还可以测量振动幅度、平面度、线速度、角速度等。 功能广 (1)可实现线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度、回转轴等几何参量的高精密测量; (2)可检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等,以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等; (3)可实现对机床回转轴的测量与校准; (4)可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表,为设备误差修正提供依据; (5)SJ6000激光干涉仪具有动态测量与分析功能,包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和频率分析等,可进行振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等; (6)支持手动或自动进行环境补偿。 软件强 (1)友好的人机界面; (2)丰富的应用功能模块; (3)向导式的操作流程; (4)简洁化的记录管理; (5)支持中文、英文和俄文界面; (6)支持企业专属模板定制。
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