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视频作者：北京科创鼎新真空技术有限公司

氦质谱检漏仪对示漏气体的要求及选择

今天科创真空的小编就和大家来分享一下氦质谱检漏仪对示漏气体有哪些要求，希望对您有所帮助！

(1)无害，不能对人体或环境造成伤害;

(2)质量轻，惰性气体，真空氦质谱检漏仪**，穿透能力强，能穿透微小细缝;

(3)化学性质稳定，不会引起化学反应和易1燃易1爆;

(4)在空气环境中含量尽可能少且组分基本恒定的气体，满足检漏灵敏度方面的要求，减少本底干扰检测的准确性。

氦质谱检漏仪的应用拓展

氦质谱检漏仪的应用已从*、大专院校、实验室及少数科研机构走向工矿企业，甚至乡镇企业、个体企业，可以说应用领域较其宽广。

航空航天高科技工业

1）例如火箭发动机及姿态发动机，过去是打压刷肥皂水检漏，现在重新改进工艺用氦质谱检漏仪检漏，采用正压吸与氦罩法结合，使检漏灵敏度大大提高，从而**了发动机质量。火箭箭体的检漏采用正压吸、氦罩法、累集法等几种方法的结合。由于检漏技术的应用，提高了检漏灵敏度，弥补了吸入法检漏时仪器灵敏度低的不足。

2）KM6空间环模装置设备庞大，主真空室直径12m、高22m，另外有辅助真空室和载人舱等。容积3500m3，分系统多，结构复杂，各种接口焊缝相加有几千米长，采用氦质谱检漏仪负压检漏，真空氦质谱检漏仪多少钱，每条焊缝由检漏盒密封，配以铺助抽气系统将盒内抽低真空后，充入一定压力氦气，关闭预抽阀，开启检漏阀。由于盒内氦浓度较高，相对检漏仪又有一定压力，因此有效提高了检漏灵敏度。

3）航天工业中，各类阀门、电子元器件，传感器等等都在广泛应用氦质谱检漏仪及其检漏技术。

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氦质谱检漏仪的结构和工作原理

氦质谱检漏仪是180°磁偏转型的质谱分析计，真空氦质谱检漏仪生产厂家，其基本原理是根据离子在磁场中运动时，不同质荷比的离子具有不同的偏转半径来实现不同种类离子的分离。检漏仪主要由质谱室、真空系统及电气控制部分组成。检漏工作时先打开抽空阀前级泵对检漏接口抽真空，当真空度P1 **200 Pa 时，打开入口阀1、2，关闭抽空阀，氦气将逆着分子泵的抽气方向进入质谱室中被检测出来，此时检漏仪的较小可检漏率为10- 10 Pa·m3/s。前级泵继续对检漏接口抽真空，当P1降至20 Pa 时，入口阀2 关闭，入口阀3 打开，分子泵的高抽速用于抽空试件，检漏仪的反应时间缩短，吉林真空氦质谱检漏仪，此时检漏仪的较小可检漏率为10- 12 Pa·m3/s。

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