高温扩散炉炉体

可*代替进口炉体，**加热炉丝，进口保温材料，采用国外**加工工艺，炉体可长期使用在高温下，处理12英寸以下硅片，工作温度2000℃-1286℃。
设备特点：
可保存多条工艺曲线每条曲线可设置多步
工艺曲线的自动运行控制功能
工艺中可强制跳到下一工艺步运行功能
自动运行中可暂停／继续运行功能
可存储多组PID参数供系统运行调用功能
PID参数自整定功能
工艺气体的程序控制功能
关键部件全部具有高**性
具有良好的人机界面
系统故障自诊功能
停电后断点继续运行功能等等
具有多点温度补偿
技术指标：
可配置工艺管外径2～8英寸
可配置工艺管数量：1～4管/台
工作温度范围：400～1300℃
恒温区长度及精度：300～1250mm 800～1300℃±0.5℃
单点温度稳定性：800～1300℃±0.5℃/24h
可控升温速率：15℃/min
降温速率：5℃/min 

青岛福润德微电子设备有限公司坐落在山东省青岛市城阳区北万工业园，交通便利，环境优美,距离流亭**机场仅五公里,现有厂房面积2000余平方米，固定资产800万元，共有员工50余人，工程技术人员10余人。是一批具有丰富技术经验和敬业精神的良好团队所组成,是我国微电子**设备**生产厂家之一,中国半导体**设备行业协会理事单位,在国内外享有盛誉，为地区863计划做出重大贡献。 
      青岛福润德微电子设备有限公司是一家集控制技术、真空技术、热工技术为一体的**企业。目前的主要产品有：太阳能扩散炉、程控高低温扩散炉、微控高低温扩散炉、热氧化扩散炉、低压化学气相沉积设备，真空烧结炉、氢气炉、链式烧结炉、隧道炉、LED**合金炉、LED**交换炉、高纯材料提纯**氧化炉、升华炉、还原炉、精馏炉、**智能温度控制系统和替代进口的扩散炉炉体、PECVD炉体及采用德国技术生产的涡街流量计，同时承接各种微电子生产线及进口半导体**设备的翻新改造工作。 
       “以人为本，欲做生意，先学做人”的立厂之根，和“以客户至上，质量**，服务无止境”的立厂之本，坚持产品设计和服务质量的持续发展，青岛福润德会不断**，提高**竞争力，以**的产品、**的售后服务、合理的价格与新老客户真诚合作。