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对于洁净厂房来说,有空气洁净度要求的生产房间(区)往往仅为部分工序或者部分部件的生产区,即便是全部产品生产区要求具有不同等级的洁净室(区),但洁净厂房内还有生产用房、公用动力和净化空调机房等为一般环境,所以洁净厂房内部往往兼有洁净生产环境和一般生产环境;各类产品生产用洁净室要求的空气洁净度等级是决定洁净生产区平面布置的主要因素,在进行综合性厂房的平面布局时,一般应将洁净室(区)与一般生产环境的房间分区集中布置,以有利于、物流的安排和防止污染和交叉污染,也有利于净化空调系统及其管线的布置和减少建筑面积等。对兼有洁净生产和一般生产的综合性厂房,在考虑其平面布局和构造处理时,应合理组织、物流运输及消防疏散线路,避免一般生产对洁净生产区带来不利的影响。当*方面与洁净生产要求有冲突时,应采取措施,在保证消防安全的前提下,减少对洁净生产区的不利影响。
各类机房主要借管道线路同洁净生产区相联系,因此他们既能同所服务的洁净室组合建在一幢厂房内,也可单见识;组合建在一幢厂房内时,可以缩短管道长度,减少管道接头和相应的渗漏污染机会,降低能源消耗,并且节约用地,减少室外工程和外墙材料消耗,当机房位于洁净室的时,还可减少洁净室的外墙面积,减低洁净室维护结构的散热量。但在一些技术改造工程中为了利用原有房屋,或者受到条件限制,单建造净化空调机房,并同洁净厂房保持一定距离。此外,若工程对于防微振有要求时,也可将机房与厂房脱开布置。当净化空调机房位于洁净厂房内时,应根据各洁净室的空气洁净度等级、面积、生产工艺特点、防止污染或交叉污染的要求与运行时间、班次等因素,考虑系统的合理划分,确定相应的机房布局。
厂房面积较大或者洁净生产区过于分散,集中设置机房使机房布置困难,在经过技术经济比较落后,也可分设几处机房;在技术改造过程中,往往因原有房屋空间条件有限,需将净化空调设备分散设置在各洁净室附近,分散设置方式的风管短,布置灵活,较能适应和利用原有空间,但在实际应用时应充分考虑噪声与振动对产品生产可能带来的影响。在某些工程中,既使用集中式净化空调机房供大部分洁净生产区安装的净化空调装置,又对特定局部空间使用分散式的净化空调装置,满足生产工艺的需要,它有集中式与分散式的特点,较加经济灵活,适应产品生产的要求。
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除了合理确定纯水制取的流程外,纯水特别是**纯水的输送设计也是较其重要的,这里主要是出水输送水配管的设计及管道材料的选择。随着生产工艺对纯水水质的不断提高,甚至到了理论纯水的程度,尤其是集成电路的发展不但对水中电解质的含量要求较其严格,而且对、微粒、**物及溶解氧等都有较其严格的要求,除了严格的纯水制造过程外,纯水输送管道的管材选择和管网设计是保证使用点水质的关键。
循环水量宜为使用量的30%-;干管流速宜为1.5-3m/s;不循环的支管长度应尽量短,其长度不宜大于6倍管径;供水干管上应设有清洗接口;管道系统各组成部分必须密封严格,不得又渗气现象。管道内壁的光洁度管道内壁如有微小的凹凸,会造成微粒的沉积和微生物的繁殖,导致微粒和两项指标的不合格,PVDF管道粗糙度可达<1μm,而不锈钢管约为几十微米;管道及管件的接头处的平整度对于防止产生水流的涡流区是非常重要的。除了选择合适的管材外,管道定期清洗液是保证水质的重要手段,主要是防止长期运行后,内壁产生沉积物及微生物积聚使水质下降,因此在涉及车间内纯水管道时要留有排空和清洗的接口。
高纯度气体的供应方式有现场制气,用管道输送供气;外购液态气体,用液态气体槽车输送供气;外购气体钢瓶,用气体钢瓶或钢瓶组输送供气等,具体某一工业企业采用哪一种供气方式,应根据工厂的生产规模及用气量、用气质量,工厂所在城市或周边地区的气体供应状况等因素经过认真的技术经济比较后确定。
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噪声控制
4.4.1洁净室内的空态噪声级,非单向流洁净室不应大于60dB(A),单向流、混合流洁净室不应大于65dB(A)。
4.4.2洁净室的噪声频谱限制应采用倍频程声压级,空态噪声频谱的限制值不宜大于窘态噪声频谱的限制值中的规定。
4.4.3洁净厂房的平面和空间设计应考虑噪声控制要求。洁净室的围护结构应有良好的隔声性能,并宜使其各部分隔声量相接近。
44.4洁净室内的各种设备均应选用低噪声产品。对于辐射噪声值**过洁净室允许值的设备,宜设置隔声或消声设施。
4.4.5 净化空调系统噪声**过允许值时,应采取隔声、消声、隔振等控制措施。除事故排风外,洁净室内的排风系统应进行减噪设计。
4.46 根据室内容许噪声级要求,净化空调系统风管内风速宜符合下列规定;
1总风管风速宜为6m/s~10m/ s,
2无送、回风口的支风管风速宜为4m/s~6m/s,
3有送、回风口的支风管风速宜为2m/s~5m/s。
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非单向流是一种不均匀气流分布方式,其速度、方向在洁净室内不同地点是不同的,这是洁净室中使用为普遍的气流组织形式;非单向流洁净室是把从污染源散发出来的尘、菌污染物在室内扩散作为前提,用经过过滤器处理的洁净空气将污染物冲淡稀释,从而保持室内所需的空气洁净度等级。因此非单向流洁净室所需要的换气次数将随着要求的洁净度和室内的污染物扩散情况不同而差别很大。非单向流洁净室的气流组织形式依据过滤器及回风口的安装方式不同而分为下列几类:**送、侧下回;侧送、侧回;**送、**回,这其中**送、侧下回的气流组织形式是较为常用的形式。
带扩散孔板风口**送、下侧回的非单向流洁净室,经过滤器的洁净空气由扩散板送出,工作区气流分布比较均匀,其空气洁净度明显**周围,而周围区域由于送风进入室内后不断卷入室内污染空气,洁净度较差;在相邻送风口之间或洁净室四角、边沿等送风气流不能覆盖的部位洁净度会较差些。所以在布置**送风口时,为使洁净室内各处洁净度尽可能的均匀,在总送风量一定的条件下适当多设送风口或均匀布置送风口,尽可能地让相邻送风口气流在工作区高度上衔接,确保工作区要求的洁净度;有时为了满足生产工艺关键部位的空气洁净度等级,在不影响洁净室**板、灯具布置或不太损害整体美观的情况下,可按工艺设备布置调整送风口位置采用不均匀布置的方式。
单侧上送、对侧下回或单侧上送、同侧下回的非单向流洁净室,这类气流流型虽可降低建筑层高,也可简化管道系统,但工作区高度可能会处于回流、涡流区,一般只适用于房间宽度小于6m的8-9级的洁净室;**送**回的非单向流洁净室一般用于回风口不便在侧墙下部布置时采用的气流流型,将**部回风口设置在洁净室的边、角部位或对洁净度不敏感的工艺设备上方,一些洁净工程实践说明这种气流流型能确保工作区所需的一定洁净度要求,其效果常常**侧送侧回气流流型。
非单向流洁净室内的尘、菌污染物可扩散到室内的任何地方,局部的设备或操作的大量发尘将会影响整个系统、房间,这对净化空调系统十分不利,即使增加换气次数也不一定**预期效果,在实际工程中通常是采用局部处理的方法,将发尘量大的排气由排气罩和排气管道经袋式除尘器等除尘装置集中处理后再循环使用,若排气量不大或循环使用不经济或排气中含有对产品、人体有害的尘、菌时,不应循环使用,而应经处理达到国家规定的排放标准后排入大气。
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