Parylene采用了一种特的化学气相沉积工艺(CVD)。CVD工艺早应用于半导体工业的外延生长,整个过程是气态反应,又在真空条件下进行,因而可以获得非常均匀的涂层,达到其它方法难以实现的同形性。过程主要有三步:
1.真空130℃条件下固态派瑞林材料升华成气态。
2.真空680℃条件下,将气态双裂解成活性单体。
3.真空常温下,气态单体在基体上生长聚合。
派瑞林在电路板上的应用
随着印制电路组件日益向小型化和高密度方向发展,给印制电路组件的三防措施提出了新的要求。存在于传统三防之中的涂层厚且不均、棱角处涂层较薄、介电强度不够、有针孔和气泡等弊端尤为突出。
Parylene涂敷属于气相沉积的过程,气态的小分子能渗透到元器件的细小缝隙,均匀的形成一层无针孔无气泡的防护膜,更好的起到防潮、防水、耐腐蚀的效果。
另外,Parylene涂层厚度较薄(通常为25um),对电路板表面绝缘电阻影响不大,且对元器件工作时所产生的热量消散也非常有利。另外由于分子结构对称性较好,使它在较高的频率下仍有较小的介质损耗和介电常数,它的这种高频低损耗特性使它为高频微波电路的可靠防护创造了条件。。
Parylene在MEMS及半导体产品上的应用
Parylene的真空气相沉积工艺不仅和微电子集成电路制作工艺相似,而且所制备的Parylene涂层介电常数也低,还能用微电子加工工艺进行刻蚀制图,进行再金属化,因此Parylene不仅可用作防护材料,而且也能作为结构层中的介电材料和掩膜材料使用,经Parylene涂敷过的集成电路芯片,其25um细直径连接线,连接强度可提高5-10倍。
Parylene能在0.2um厚时就完全没有针孔,5um时就能耐1000V以上直流击穿电压,又是摩擦系数很低的一种自润滑材料,化学惰性和阻隔性能也好,因此在微电子机械系统中,除了作电介质材料外,还用作微型传动机构和微型阀门的结构材料和防护材料。
Parylene文物保护上的应用
脆弱的文物、标本等可用派瑞林(Parylene)加固保护、延长寿命,被誉为可给考古界带来一场变革的新型文物保护材料,能解决其它材料不能解决的文物保护问题。
通过 Parylene真空涂敷,可使过火的纸张和书籍加固,防止进一步损坏。因为Parylene特的能力可以涂敷纸张中的每根纤维。易破碎的人工制品可以被加固和检测以避免进一步的损坏。作为珍贵照片或图片的保护材料,parylene涂层可在不改变它们的外观的情况下,起到防蛀、防霉、防潮的作用,同时大大延长其寿命。
珂纳米科技(苏州)有限公司是专业从事派瑞林涂覆设备、工艺开发的高新技术企业,公司前身为PACO KOREA,拥有20年高质量派瑞林涂覆经验和高度可靠的涂覆系统开发能力,为广大客户提供派瑞林涂覆的加工、派瑞林材料、派瑞林气相沉积设备的开发及销售。派瑞林镀膜的方式为气相沉积CVD,其防护性能明显优于喷漆、环氧、电镀等传统三防工艺,广泛应用于电路板PCBA、线圈马达、硅橡胶制品、磁性材料、LED/OLED、传感器、电池、医疗产品等,上述产品经parylene镀膜后可起到防水、耐腐蚀、耐高压、耐盐雾的作用,可大大提高产品性能,延长使用寿命。派珂纳米在行业内的优势:拥有20多年派瑞林镀膜经验,涉及到各行各业的产品;严格按照作业标准进行操作,严格把控质量;设备独特的设计结构,使得镀膜速度快、生产效率高,从而降低涂敷成本;设备容量大,可满足批量化生产客户的要求;镀膜均匀性好,同批次均匀性<5%;跟原料厂家合作,让客户在原料的供应上后顾无忧;拥有研发团队,可自主研发、设计、生产派瑞林沉积设备,提供量身定制的解决方案;拥有万级洁净厂房,满足对洁净度要求较高的产品的加工环境需求。