产品详情 定制精密加工&检测隔振平台 台面尺寸:定制的大理石台面形状及尺寸 • 系统高度:按要求定制 • 低固有频率膜式空气弹簧 垂直方向固有频率:2.0 HZ 水平方向固有频率:1.5 HZ • 高精密高度阀与水平控制器 • 用途:光学、半导体加工及测量平台