中净环球净化可提供洁净厂房、无尘厂房、洁净室的咨询、规划、设计、施工、安装改造等配套服务,技术、经验丰富、价格实惠。
洁净厂房设计首先要了解所设计的洁净厂房的用途、使用情况、生产工艺特点等,比如设计的是集成电路生产用洁净室,首先要弄清楚产品的特性—集成性、特形尺寸和生产工艺特点;对洁净室的要求—空气洁净度等级、温湿度及其控制范围、防微振、防静电和高纯物质的供应要求等;其次要充分了解拟采用的生产工艺、工艺设备情况和工艺布局的设想。设计人员应协同确定洁净厂房各功能区的区划,确定各类生产工序(房间)的空气洁净度等级和各种控制参数—温度、相对湿度、压差、微振动、高纯物质的纯度和杂质含量;初步选择洁净室的气流流型并进行净化空调系统的初步估算及设计方案的对比、确定;进行洁净厂房的平面布置、空间布置,此时必须首先安排好产品生产区与生产区、动力公用设施区的合理布局,通常是顺应产品的生产工艺流程,在确保产品生产环境要求的情况下做到有利于产品生产的操作、管理,有利于节约能源、降低生产成本。
为确保洁净室室内所必须的空气洁净度,洁净室设计中涉及到的各个设计均应采取妥善的、可靠的技术措施,以减少或防止室内产生、滋生微生物,减少或阻止将微粒、微生物或可能会造成交叉污染的物料带入洁净室内,有效地将室内的微粒、微生物排出,以减少或防止它们滞留洁净室内。对于因尘粒、微生物或物料的交叉污染会危害产品质量或人身安全时,还应采取安全、可靠的技术措施防止交叉污染,如严格控制不同用途的洁净室之间的静压差,按要求合理地划分净化空调系统以及回风系统的妥善设计等。洁净室设计应确保安全生产和满足环境保护的要求。洁净室的布置和各项设施的设计均必须符合消防、*的要求,应按国家的有关标准、规范进行设计,由于洁净室内的平面和空间布置、走道曲折等特点,在进行各项技术设施的系统设计、设置配备和材质选择时,应特别注意按规定选用符合要求的系统、设备和材质。
洁净厂房内的洁净生产间及相关设施有洁净生产间、洁净室用房、管理区、公用动力设备区等,洁净间包括人净用室、生活用室、物净用室、实验室和物料贮存用库房等,这些房间与洁净生产间关系密切,有的还有洁净度要求;管理区包括办公、技术管理、会议休息等房间,此类房间在洁净厂房内应尽量减少,并尽量设置在洁净室(区)外;公用动力设备区包括空调机房、冷冻机房、水或气净化机房、变配电室、排风机及排气处理设备间、生产用化学品供应间等,这类房间的设置通常与洁净厂房的规模、空气洁净度等级、气流形式、产品生产工艺要求等有关,目前许多洁净厂房的设计中均将此类设备用房全部或大部都与洁净生产厂房设置在同一幢建筑内统一布置,既可以减少管线、降低冷热损失和节约能源,又可方便管理。
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余压阀控制是通过调节安装在洁净室的余压阀上的平衡压块,从而改变余压阀的开度,实现室内正压控制;差压变送器控制是用差压变送器检测室内压力,自动控制必要的回风量;微机控制是在对正压值各不相同的多个房间进行正压控制时,利用微机和电动风阀控制不间的送风和回风,可使控制系统简单化。在洁净室中,如果新风量不足,工作人员将有气闷、头晕等不舒适的发生;为了满足工作人员的卫生要求,保证工作效率,洁净室中要供给足量的新风;为了补偿洁净室中的工艺设备排风,洁净室需要补偿相应的新风;为了保证洁净室的洁净度免受邻室或外界的污染以及洁净室中的产品或产品生产过程的致敏性物质等对邻室的影响,洁净室需要维持一定的压差值,这也需要新风的补充。因此洁净室所需的新凤量应满足:作业人员健康所需新鲜空气量;维持静压差所需补充风量;补充各排风系统的排风所需新风量。
洁净厂房的空调处理方案:一次回风系统,在回风可以循环利用的情况下,将回风与新风混合,再经过处理,送入洁净室。二次回风系统,在回风可以循环利用的情况下,先将部分回风和新风混合,经过处理后再与剩余的回风混合,经处理后送入洁净室;这种系统形式常用于别、较小工艺发热量的洁净室;二次回风的利用,节省了部分再热热量和部分制冷量。全新风系统,新风经过处理后,送入洁净室,然后不回风直接排入大气;这种系统形式用于回风不可以循环利用的情况,如动物房、生物安全洁净室、药品生产产工厂的某些药品生产车间或某些工序;因为全新风系统是直接将室外新风处理到室内送风状态,回风不循环使用,所以是耗能大的系统形式。从节能角度出发,在采用全新风系统时,可考虑在系统中增设能量回收装置。送风系统+室内设空调机组,可以满足具体房间对温湿度的较严格的要求,尤其适合于改建的洁净室或有要求的小面积洁净室。
空气降湿的原理及方法有:升温降湿、冷却降温、吸收或吸附除湿三类;在实际工程设计中,各种工业产品的要求是多种多样的,有时单一的除湿方法不能满足要求,需要应用多种除湿方法联合除湿。空气吹淋室是人身或物料用净化设备,它是利用高速(25m/s)的洁净气流吹落并清除拟进入洁净室人身服装或物料表面上附着粒子的小室;由于进出吹淋室的门是不同时开启的,可以兼起气闸作用,防止外部空气进人洁净室,并使洁净室维持正压状态;吹淋室除了有一定净化效果外,它作为人员进入洁净区的一个分界,还具有警示作用,有利于规范洁净室人员在洁净室内的活动。当班使用人数**过30人时,可将两台或多台单人吹淋室并联布置;但小室式吹淋室设置的数量不能过多,一般人员吹淋的时间约为30s/人,若需通过吹淋的人数很多时,可考虑设置通道式吹淋室。
人员净化用室,应包括雨具存放、换鞋、管理、存外衣、较洁净工作服等房间。厕所、盥洗室、淋浴室、休息室等生活用室以及空气吹淋室、气闸室、工作服洗涤和干燥间等其他用室,可根据洁净室的用途、产品生产要求和具体设计的实际情况确定是否设置。所有进入洁净室的人员必须在换鞋处净鞋或换鞋,目的在于使净化用室处不致受到严重污染,多数洁净厂房人员前设有擦鞋、水洗净鞋、粘鞋垫、换鞋、套鞋等净化措施。
为了保护人员净化用室的清洁,彻底的办法是在较衣前将外用鞋脱去,换上清洁鞋或鞋套。现有洁净厂房工作人员都执行较衣前换鞋的制度,其中不少洁净厂房对换鞋方式作了周密考虑,换鞋设施的布置考虑了外用鞋与清洁鞋接触的地面要有明确的区分,避免了清洁鞋被外用鞋污染,例如跨越鞋柜式换鞋,清洁平台上换鞋等都有很好的效果。外出服在家庭生活及户外活动中积有大量微尘和不洁物,服装本身也会散发纤维屑,较衣室将外出服及随身携带的其他物品存放于的存衣柜中内,避免外出污染洁净工作服。洁净的手不可用普通毛巾擦抹,因为普通毛巾易产生纤维尘,的办法是热风吹干,电动自动烘手器就是一种较好的选择。
洁净区设置厕所不仅容易使洁净室受到污染,还会影响洁净室(区)的压差控制,所以不要在洁净厂房的人员净化用室的范围内设厕所,如果确需在人员净化用室内设置时,应设在盥洗室之前,厕所前增设前室,供入厕前较衣、换鞋用,同时室内应连续排风,以免臭气、湿气进入洁净区。
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洁净室内生产设备和产品生产过程的产尘量主要取决于产品生产过程的特点、选用的设备状况及其采取的技术措施、选用的原料辅料、工艺介质的纯度及其输送系统等;近年来由于采取了各种技术措施,降低了这类产尘量,如采用封闭隔断及局部排风措施等,使产尘区域相对于周围空间又一定的负压,防止粉尘扩散开来,以至危害其他工序的洁净度;采取排风罩等措施将工艺产尘排走,尽可能减少扩散到生产车间的粉尘量;车间机械设备的轴承、齿轮、传动皮带等运动部件在工作过程中,由于润滑油升温炭化及机械磨损等原因而散发到空气中的尘埃,越来越引起某些高洁净度工艺的关注;在集成电路生产中,随着集成度的提高,要求生产环境控制0.1μm尘粒达到1级或较严的洁净度,为了减少洁净室建造费用并可靠地达到别要求,目前许多大规模集成电路工厂采用微环境技术和生产工艺自动化技术,采用机械手、机器人,从而减少了室内人员等因素,使室内产尘总量下降。但一般洁净在通常情况下,室内主要的污染源仍然是人。
为保证产品生产环境或其他用途的洁净室所要求的空气洁净度,要采取多种综合技术措施才能达到要求。这些综合技术措施包括:应采用产生污染物少的生产工艺及设备,或采取必要的隔离和负压措施防止生产工艺产生的污染物质向周围扩散,采用产尘少、不易滋生微生物的室内装修材料及工器具;减少人员及物料带入室内的污染物质;维持生产环境相对于室外或空气洁净度等级要求低的邻室有一定的正压,防止室外防止室外或邻室的空气携带污染物质通过门窗或其他缝隙孔洞侵入;加强洁净室的管理,按规定进行清扫、灭菌等。
洁净室的空气净化处理就是根据房间不同的洁净度等级要求,采用不同方式送入经过处理的数量不等的清洁空气,同时排走相应数量的携带有在室内所产生的污染物质沾污的脏空气,靠这样的动态平衡,使室内环境维持在所需的空气洁净度等级。通常所指的空气污染物质主要有以下三类;悬浮在空气中的固态、液态粒子,包含附着在粒子上的分子污染物;霉菌、等悬浮在空气中的微生物;各种对人体或生产产品有害的气体。目前洁净室对送入空气的净化方法,重要和使用广泛的方式是空气过滤法,送入洁净室的清洁空气,主要是靠在送风系统的各部位设置不同性能的空气过滤器,用以除去空气中的悬浮粒子和微生物。
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