蓝宝石平坦度及表面形态观测检测仪

Tropel®FM200®为精密部件的制造商提供了业界良好的表面形态测量。通过非接触式光学测量技术记录下整个表面的数据。FM200能够快速和准确地对各种表面的平面度、线型和其他表面参数进行测量。
产品特点：
■	无接触和无损伤测量
■	适用多种类型材料：半导体，金属，聚合物，陶瓷，玻璃和其它材料
■	适用多种类型晶片：硅/蓝宝石/碳化硅/砷化镓/石英/锗/铌酸锂
■	适用多种类型表面：研磨表面，抛光面，**光滑面
■	测量多种不同指标：
厚度/TTV/SORI/LTV/LDOF/压力/翘曲度/弯曲度/平坦度/平面度/线轮廓/表面轮廓
■	完整的分析系统：
三维/拓扑/合格率/分布/二维环形和半径切面/平面/球面/锥形匹配/局部平面度分析/斜度
■	可以实现自动、快速、准确、稳定的测量
■	**过15年的工业应用，**几百台的装机量
技术参数：
■	精确度：50nm （2.0μ″）
■	重复性：15 nm（0.6μ″）（1 sigma）
■	分辨率：5nm （0.2μ″）
■	可测量工件尺寸：25mm-200mm
■	动态测量范围：>100um
■	测量数据点：230,000 / measurement
■	测量时间：5秒
■	电源：～220V  50Hz    

北京合能阳光新能源技术有限公司，是半导体及光伏检测解决方案提供商。我们围绕客户的需求持续创新，与合作伙伴开放合作，在半导体材料，晶棒，晶片，电池片，组件，电站，蓝宝石，碳化硅，浆料辅材等包括电学，杂质含量，外观，外形等领域提供*的检测解决方案优势。我们致力于为企业、实验室，科研检测中心、高校实验室等提供有竞争力质量检测和竞争力提升解决方案和服务，持续提升客户体验，为客户创造较大**