半导体真空**退火炉、退火炉、真空退火炉、半导体退火炉、工业炉、工业退火炉、井式退火炉、台式退火炉

半导体**退火炉以**加热模块为加热元件，采用双层壳体结构和31段程序控温系统，移相触发、可控硅控制，半导体退火炉炉膛采用不锈钢材料，退火炉双层炉壳间配有风冷系统，能**升降温，采用外壳整体密封，盖板用硅胶泥密封，炉门配有水冷系统并配有硅胶垫，，用浮子流量计控制进气流量、该炉具有温场均衡、表面温度低、升降温度速率快、节能等优点，是高校、科研院所、工矿、电子企业做高温钎焊、气氛烧结、气氛还原、CVD实验、真空退火、熔化﹑分析而研制的**理想设备。
半导体真空**退火炉的详细介绍
（半导体）**退火炉技术规格要求及参数
 
项目
名称
内容
备注
产品名称
（半导体）**退火炉
 
主 要 技 术 参 数
内胆尺寸
宽530*深430*高220mm
外形尺寸（约）
宽 920  *深900  *高 740   mm
温度范围
室温 MERGEFIELD "温度范围" ～+450℃可调（根据加热板实际热承受能力而定）
加热方式
采用铸铝加热板，
温度波动度
≤±1℃
温度均匀度
测温探头的精度为±0.5℃，控温点在加热板上部对角两点及测温的侧面一点， （恒温空载状态下）（加热板的温度均匀性±1℃）
升温速率
≤8℃/min .空载时升温速度：室温到200℃在8分钟内到达；
外壳温度
温升不**过环境+25℃，门周边除外。
电源
三相五线制，380V，50HZ
 
总功率
20KW，使用功率16KW
 
箱  体  结  构  特  征
外壳材料
外层A3厚2.0冷板，
 
内胆材料
采用5mm厚SUS304不锈钢板制作
 
保温材料
1.    采用1400型纤维毯保温
2.    具有不可燃烧，隔热性强等特点，厚度为60mm
 
烟气隔离罩
炉体左右后三个面用亚克力板围起来，炉体正面做对开式门，四周用玻璃胶密封，开炉时可让烟气有效排除。
 
密封材料
密封条采用直径10mm发泡硅胶条制作，可耐温**，门与内胆采用单层密封形式，加强密封效果
 
门
配两个圆形观察窗，炉门密封圈不易老化和烧坏，真空门装有电脑控制气缸开启和关闭（闭合传感器，确定门关闭）可90度运动
 
 
观察窗
采用圆形观察窗口，观察窗直径80，生产过程一目了然
 
控制系统
加热部分
采用导热板加热，带水冷急速冷却
 
冷却部分
炉口方管及加热板
 
电箱
电箱与烘箱分离安装
 
抽真空
箱体抽气口加装电磁阀阀（带过滤器）直径100*180mm
 
氮气部分
氮气，需加电磁阀控制，气管管径直径8mm，设备侧面设有氮气接口和甲酸接口，并用一个三通的常闭电磁阀，其后再接一个电磁阀，以控制进入腔体的气体量，电磁阀使用方向按客户要求进出气方向安装。
 
 温控部分
1.    采用微电脑智能型温控器
 
控制器
采用闽台琦胜HM-782S触摸屏，精度高，稳定性好，设有手动，自动，工业设定等功能，配日本三菱PLC控制器（FX2N-48MR）,与闽台琦胜（型号PLL-2010-002A）可编程控制器通讯控制，能控制显示3个温区并能阶梯式程序升温，预留3个控温探头
流程：合门锁---抽真空---充氮气---自动加热---温度曲线---高温抽真空---真空泵停止---冷却降温---停止充氮---电子门锁---取料完成（供方负责加工，需方负责编程设计）
 
温度传感器
搁板两个感温探头预留在加热板**部对角处，加热板侧面配一个**温的感温探头，K型探头PID温度控制器需使用3个闽台琦胜温控器，2个程序表，1个显示表
 
自动恒温
1.    温控器可根据用户设定的温度值，采用PID自动计算输出功率的大小，
2.    越接近温度设定值时，输出功率越小，以达到恒温控制的目的，并可节能省电
 
真空度
采用数显ZDZ-52T/E 电阻真空计，传感器采用成都睿宝**，10分钟内抽至20pa，20分钟内漏率80pa。
 
电磁阀
（上海西马特）电磁阀，1：真空挡板阀GDQ-7/KF16KF,2：截止阀（氮气充甲酸、水、空气GDC-A）3：压差式充气阀CYC-JQ
 
**温报警
当实际检测温度**过**温保护温控器设定值时，自动切断加热电源，起到双重保护功能
 
功  能
接地保护
结构件*接地保护。
 
电源缺相、相序保护
配有相序保护器
 
环境温度
- MERGEFIELD "环境温度" 5℃-40℃
 
相对湿度
≤85%RH
 
电源
AC380V±10%，50Hz
 
 
**进行技术培训。
 
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