复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用,可提供局部**洁净之空气。 (1)洁净隧道(Clean Tunnel):以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域**覆盖使洁净度等级提高至10级以上,可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离,以避免机器维修时影响工作及品质。ULSI制程大都采用此种型式。 洁净隧道另有二项优点:A.弹性扩充*; B.维修设备时可在维修区轻易执行。 (2)洁净管道(Clean Tube):将产品流程经过的自动生产线包围并净化处理,将洁净度等级提至100级以上。因产品和作业员及发尘环境相互隔离,少量之送风即可得到良好之洁净度,可节省能源,不需人工的自动化生产线为较适宜使用。药品、食品业界及半导体业界均适用。 (3)并装局部洁净室(Clean Spot):将洁净室等级10,000~100,000之乱流洁净室内之产品制程区的洁净度等级提高为10~1000级以上,以为生产之用;洁净工作台、洁净工作棚、洁净风柜即属此类。 洁净工作棚:为在乱流式之洁净室空间内以防静电之透明塑料布围成一小空间,采用独立之HEPA或ULPA及空调送风机组而成为一较**之洁净空间,其等级为10~1000级,高度在2.5米左右,覆盖面积约10m2以下,四支支柱并加装活动轮,可为弹性运用。1、洁净室内当工作人员穿无菌服时: 静止时的发菌量一般为:10~300个/min.人 一般活动时的发菌量一般为:150~1000个/min.人 快步行走时的发菌量一般为:900~2500个/min.人 2、咳嗽一次一般为:70~700个/min.人 喷嚏一次一般为:4000~60000个/min.人 3、穿平常衣服时发菌量:3300~62000个/min.人 4、无口罩发菌量:有口罩发菌量为1:7~1:14 乐居厂净化房适用场所: 电子厂,半导体厂,光电产业,机电房.恒温恒室实验室,百级无尘车间洁净厂房等净化房,净化房销售,芜湖乐居活动板房由鸠江区乐活活动板房加工厂()提供。
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