Parylene涂层如何为硅胶CMP保持环提供*保护？

      CMP是集成电路制造工艺过程中实现晶圆表面平坦化的关键技术，通过化学腐蚀与机械研磨的协同配合作用，实现晶圆表面多余材料的去除与全局纳米级平坦化。     
      由于半导体技术的快速发展，厂家为了能够提升芯片产量，并且降低生产成本，晶圆的直径不断增大；直径的增大也就导致了加工过程中容易出现翘曲变形，对于150mm直径以上的晶圆还会造成边缘“过磨“的现象，为了不导致抛光质量及晶圆利用率的降低，因此产生了CMP保持环。     
CMP保持环能够在CMP设备作业过程中起到固定晶圆的作用，将边缘的抛光垫和晶圆以下的抛光垫按压到同样的高度，有效地解决了边缘“过磨“的问题。
      保持环是采用硅胶材质注塑而成，产品表面存在微小孔洞，并且易粘灰尘，不易从基底剥离。
      在晶圆研磨过程中，研磨药液渗透至硅胶保持环空洞内，造成晶圆出现研磨不良。
      派瑞林由于其膜层致密，自润滑，耐化学腐蚀的特性，杜绝了以上硅胶保持环存在的问题。大大提升了晶圆研磨良率。
      同时派瑞林涂层还有很多其他的优点：比如的绝缘性，耐高低温性能，防潮防水耐腐蚀，涂层均匀等等。所以它不仅在硅胶保持环上很适用，在其他很多领域也都得到了广泛的应用。如果您的产品有这方面的防护需求可以试用下派瑞林涂层方式。

派珂纳米科技（苏州）有限公司是专业从事Parylene镀膜加工及开发生产Parylene镀膜设备的企业，公司坐落在苏州工业园区兴浦路333号。公司拥有万级洁净厂房，拥有真空镀膜专业的技术团队，拥有成熟的稳定的生产工艺及面向**市场的运营能力。
2019年9月收购韩国PACO公司 ，该公司在韩国拥有20多年Parylene镀膜经验和派瑞林涂覆系统开发能力，所加工产品涉及到各行各业，在镀膜产品的多样化、设备结构设计、治具设计等方面拥有较大优势。
2019年12月派瑞林镀膜原料厂家入股派珂纳米公司，从而实现了镀膜原料，镀膜加工，镀膜设备以及镀膜设备改造维修一条龙服务。
派珂纳米所加工产品涉及到航空航天、交通运输、汽车电子、消费电子、家用电器、控制系统、生物医学、文物保护等领域，并与国内高校研究所建立了良好的合作关系。
加工的具体产品有：电路板、线圈马达、钕铁硼磁材、铁氧体磁材、马达转子、各类密封圈、密封条、硅胶管等硅胶制品、封堵器、LED灯带，LED显示屏、OLED产品、半导体、芯片等。
派珂纳米拥有20多年派瑞林镀膜经验，涉及到各行各业的产品；严格按照作业标准进行操作，严格把控质量；设备*特的设计结构，使得镀膜速度快、生产效率高，从而降低涂敷成本；设备容量大，可满足批量化生产客户的要求；镀膜均匀性好，同批次不均匀性＜5%；跟原料厂家合作，让客户在原料的供应上后顾**；拥有研发团队，可*、设计、生产派瑞林沉积设备，提供量身定制的解决方案；拥有万级洁净厂房，满足对洁净度要求较高的产品的加工环境需求。