MF3000M气体质量流量计MF3000S微型流量传感器

产品简介：MF3000系列气体质量流量计采用旁路设计并使用本公司的MEMS流量传感器芯片，集成了时域流量传感技术和智能电子技术。与市场上传统的量热式流量传感技术相比，这种时域流量传感技术消除了一些常见气体的敏感性。而对于另外一些敏感性气体，可以配合软件实现气体识别。MEMS芯片表面采用氮化硅陶瓷材料钝化，并结合防水、防油纳米涂层，产品性能和得以大幅度提升。时域流量传感技术还提供了线性度，并使用度效应大幅降低。
MF3000系列气体质量流量计能直接测量气体质量流量，适用于各类清洁、干燥气体。MF3000系列气体质量流量计测量范围覆盖（0-2）SLPM-(0-1500)SLPM,该流量计工作压力提高到0.8MPa，MF3000系列气体质量流量计提供多种信号输出，通过RS485或I2C数字通讯接口可实现远程数据采集与设置，并可选择NPN或PNP开关信号输出。MF3000系列气体质量流量计同时具备LED数字显示和按键功能，允许用户在现场调整或者查询流量计的参数。本产品可用于工业应用中的焊接机器、激光设备、气体混合控制等。
产品特点：
质量流量，时域传感技术
全量程（0-2）SLPM-(0-1500)SLPM
全量程优良的重复性
可测量多种气体不需要修正
多种输出信号可选
支持多种连接方式，易于安装与使用
工作原理
MF3000系列气体质量流量计是基于铭鸿仪表公司自主研制MEMS流量传感芯片，其原理是利用流动气体传热传质的依存关系，在其上、下游产生温度变化而得到气体的质量流量。
该流量的MEMS芯片上集成了微热源与温度传感器。当没有气体流过时，MEMS芯片上的微热源周边形成稳定的温度场分布。MEMS芯片上温度传感器将测量到具体的温度变化并转换为电信号，经放大、调理和线性化处理后，通过LED显示或模拟、数字信号输出。由于不同种类的气体对微热源周边形成稳定的温度场分布所产生的温度变化不同，所以能测量气体的质量流量。
技术参数：
流量范围：2、5、10、20、50、100、200、500、1000、1500 SLPM
量程比：50：1
精度：±（2.5+0.5FS）%
重复性：1.0%
零点稳定度：±30MV
输出漂移：±0.12%/℃
响应时间10MS
工作电源：8-24VDC,50MA
信号输出1：RS485或I²C
信号输出2/3：模拟电流4-20mA/模拟电压：1-5VDC/NPN/PNP
显示方式：4位4段LED数码管，2个指示灯
显示单位：瞬时流量：SLPM;累积流量：SL或Nm³
显示分辨率：瞬时流量：0.01SLPM,累积流量：0.1SL或0.01Nm³
工作压力：0.8MPa
工作温度：-10～+55℃
储存温度：-20～+65℃
工作湿度：<95%RH（无结冰、无凝露）
机械接口：BSRT1/4外螺纹  4、6、8MM快速接头  或8mmL型接头  BSPT1/2内螺纹
按键：三个按键
校准方式：空气（20℃，101.32kPa）
电气接品：6针插座，广濑：DF51K-6P-2DS
符合性：RoHS,REACH

广州铭鸿自动化仪表有限公司是一家工控研发、生产、销售各类流量计、变送器、传感器、二次仪表、分析仪表、定量控制仪表、自动化设备产品的高科技企业，公司座落于广州，交通较为便利，公司拥有一批高、中级工程技术人员和经验丰富的营销队伍，具有强大的研发、生产和销售能力。并承接自动化工程的设计配件、供货、安装调试等项目。 
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