全自动碳化硅清洗设备

全自动碳化硅清洗设备生产线为： 晶舟上货，将晶舟置于上货区位置，按下启动键，将自动以夹持方式移至制程槽进行预设之制程，完成设备本身设定之流程，达成一贯性自动控制的功能。本设备电器控制部分关键件均采用进口优质件，性能可靠，使用寿命长；及背部设有吸风口，为防止污染空气，用户需外接风管抽风。本机台是IPC工业电脑加PLC控制的全自动控制系统。

全自动碳化硅清洗设备特点：

溢流工艺的应用，保证了药液槽之间的隔离效果和清洗的高洁净度；

优化配管设置，节约DIW消耗量；

工艺柔性化设计，工艺更改方便迅速；多工艺数据库，可供用户使用和存储；

整机在使用、运行过程中平稳、可靠、不产尘、无溢出油污等，需润滑的零件必须密封处理；

全自动碳化硅清洗设备PLC控制，IPC显示，清洗槽定温控制，过温保护及**(兆)声低液位保护；

全封闭设计。设备运行峰值噪音小且操作、维护和维修方便；

耐酸碱溶液及挥发气体的腐蚀，电器元件正常安全使用；

设有紧急停止回路（EMO急停按钮，设备两端各一个），并按照标准设置接地保护断路器；

全自动碳化硅清洗设备前后区隔离，底板倾斜设计，便于排液，较低处设有漏液报警，前后区域均设水，确保漏液及时冲洗；

清洗槽体及管路配有明显标识或防错设计，防止溶剂混用；

设计合理化的排风管路，使**液挥发气体的污染较小化；

内部输水、输气管道管线布置于主体设备内部；

废水按照高氟、低氟、酸碱、酸碱含醇四类排放；

全自动碳化硅清洗设备内废气总管路可用维护区水清洗，清洗废液流入**、酸碱废液总管；

工艺溢流槽体都需具有外槽独立溢流方式，需采用四面溢流；如果无法实现，至少需要三面溢流；

后方、左右两侧需留有方便维护、维修的窗口；

机台排风口处安装排风压力监测装置（带信号报置）；

全自动碳化硅清洗设备总进口处（N2或CDA）安装有压力监测装置（带信号报置）；

工艺槽槽体倾斜式，便于排空；

电器部分具备正压N2保护，防止腐蚀；

溢流：IDLE TIME＞SET TIME，溢流停止，达到节能目的；

全自动碳化硅清洗设备废液排放，每个工艺槽采用独立排放管道，对应QDR也采用独立排放口；

排风，工艺腔内每个工艺槽对应位置都有可调节的栅格排风结构；

换液提醒功能，所有制程能根据配液时间或运行批次数量通知换酸；

工艺结束可以设置预先报警功能，预报警声音和实际报警声音要有所区分；

全自动碳化硅清洗设备工艺说明: 自动传动，自动方式实现槽体间传送工件，手臂按照菜单选择流程作业，生产部人员选取菜单进行作业，这个过程全自动进行；

全程自动化控制，工艺过程中没有人工干预，保证产品性能的一致性；

机械手的横向移动和纵向提升均采用日本伺服马达，闭环控制，定位精度≤1mm，可靠性高；采用双导轨结构及线性模块传动，几何曲线加减速运动，冲击小、运动平稳；

深圳市通利达自动化设备有限公司是一家从事精密超声波清洗设备、高压喷淋清洗设备、纯水设备、冷水机组研发设计、制造及经营服务于一体的大型设备制造企业。凭着丰富的行业经验和不断进取的信念，本着“以人为本、技术创新、诚信服务”的经营理念，贯彻执行ISO9001:2008**质量管理体系，使研发及制造技术处于清洗行业的*。公司正以技术 为先导，以科学务实的管理基础，把“通利达”建设成为充满朝气和活力的高科技企业。生产各种类型的超声波清洗机、喷淋清洗机，同时设计开发制造适用于不行业的大型非标型的运用PLC、触摸屏及工控电脑控制幕显示的全自动超声波清洗机和全自动高压喷淋清洗机、纯水机、冷水机其各项技术指标为国内水平，同时接近国外**水平。其产品广泛应用于光学行业,五金行业,汽车制造行业,光伏行业等等。深圳市通利达自动化设备有限公司产品特点是有效降低了人工成本、运行成本,并能提高生产效率和产品合格率，赢得客户高度的评价；*特的企业文化，富有朝气、年轻化管理团队，持续 的研发制造能力为“通利达”公司创造了广阔的市场空间，产品除覆盖了整个中国市场，较是源源不断的出口到欧美、东南亚及日本等 ，为公司成为中国清洗设备 奠定了坚实的基础。在未来，通利达公司将一如既往，追求 品质，提供 服务，竭诚与新老客户达成长期合作，共创美好的明天。