全自动碳化硅清洗设备

全自动碳化硅清洗设备生产线为： 晶舟上货，将晶舟置于上货区位置，按下启动键，将自动以夹持方式移至制程槽进行预设之制程，完成设备本身设定之流程，达成一贯性自动控制的功能。本设备电器控制部分关键件均采用进口优质件，性能可靠，使用寿命长；及背部设有吸风口，为防止污染空气，用户需外接风管抽风。本机台是IPC工业电脑加PLC控制的全自动控制系统。

全自动碳化硅清洗设备特点：

溢流工艺的应用，保证了药液槽之间的隔离效果和清洗的高洁净度；

优化配管设置，节约DIW消耗量；

工艺柔性化设计，工艺更改方便迅速；多工艺数据库，可供用户使用和存储；

整机在使用、运行过程中平稳、可靠、不产尘、无溢出油污等，需润滑的零件必须密封处理；

全自动碳化硅清洗设备PLC控制，IPC显示，清洗槽定温控制，过温保护及**(兆)声低液位保护；

全封闭设计。设备运行峰值噪音小且操作、维护和维修方便；

耐酸碱溶液及挥发气体的腐蚀，电器元件正常安全使用；

设有紧急停止回路（EMO急停按钮，设备两端各一个），并按照标准设置接地保护断路器；

全自动碳化硅清洗设备前后区隔离，底板倾斜设计，便于排液，较低处设有漏液报警，前后区域均设水，确保漏液及时冲洗；

清洗槽体及管路配有明显标识或防错设计，防止溶剂混用；

设计合理化的排风管路，使**液挥发气体的污染较小化；

内部输水、输气管道管线布置于主体设备内部；

废水按照高氟、低氟、酸碱、酸碱含醇四类排放；

全自动碳化硅清洗设备内废气总管路可用维护区水清洗，清洗废液流入**、酸碱废液总管；

工艺溢流槽体都需具有外槽独立溢流方式，需采用四面溢流；如果无法实现，至少需要三面溢流；

后方、左右两侧需留有方便维护、维修的窗口；

机台排风口处安装排风压力监测装置（带信号报置）；

全自动碳化硅清洗设备总进口处（N2或CDA）安装有压力监测装置（带信号报置）；

工艺槽槽体倾斜式，便于排空；

电器部分具备正压N2保护，防止腐蚀；

溢流：IDLE TIME＞SET TIME，溢流停止，达到节能目的；

全自动碳化硅清洗设备废液排放，每个工艺槽采用独立排放管道，对应QDR也采用独立排放口；

排风，工艺腔内每个工艺槽对应位置都有可调节的栅格排风结构；

换液提醒功能，所有制程能根据配液时间或运行批次数量通知换酸；

工艺结束可以设置预先报警功能，预报警声音和实际报警声音要有所区分；

全自动碳化硅清洗设备工艺说明: 自动传动，自动方式实现槽体间传送工件，手臂按照菜单选择流程作业，生产部人员选取菜单进行作业，这个过程全自动进行；

全程自动化控制，工艺过程中没有人工干预，保证产品性能的一致性；

机械手的横向移动和纵向提升均采用日本伺服马达，闭环控制，定位精度≤1mm，可靠性高；采用双导轨结构及线性模块传动，几何曲线加减速运动，冲击小、运动平稳；

全自动碳化硅清洗设备机械手臂单独急停、暂停开关、系统急停开关和机械手马达电机自动过载保护等多重保护，确保操作者的安全；

机械手臂设有防夹防撞预置（光电传感器、机械传感器、机械装置等），以保护操作人员安全；

上下料方向：左进右出，花篮水平放置；

颗粒指标，尺寸大于XX μm的颗粒，密度不**过XX个/cm2；

全自动碳化硅清洗设备目前金属离子残留测试，包括XX种元素：每一种金属元素残留指标均要求<XXcm^-2。

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