科探实验室真空直流磁控溅射镀膜仪

大功率桌面溅射仪，采用小电流高电压，最大功率1000w，配有水冷机接口，可长时间运行。该产品为台式磁控溅射镀膜机，能够在非导电或导电不良的样品上涂布金（Au），钯（Pd），铂（Pt）和金/钯（Au / Pd）的薄膜。 在较短时间内即可形成具有细粒度的均匀薄膜，使样品适用于扫描电子显微镜（SEM）分析。仪器结构紧凑，全自动控制，设计符合人体工程学，所得结果一致，可重复性高。

主要特点：

轻便、溅射面积大
靶材可按用户要求加工制作

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大功率桌面溅射仪技术参数；

控制方式

7寸人机界面 手动 自动模式切换控制

溅射电源

直流溅射电源

镀膜功能

0-999秒5段可变换功率及挡板位和样品速度程序

功率

≤1000W

输出电压电流

电压≤1000V  电流≤1A

真空

机械泵 ≤5Pa（5分钟）   分子泵≤5*10^-3Pa

溅射真空

≤30Pa

挡板类型

电控

真空腔室

石英+不锈钢腔体φ160mm x 170mm

样品台

可旋转φ62  （可安装φ50基底）

样品台转速

8转/分钟

样品溅射源调节距离

40-105mm

真空测量

皮拉尼真空计（已安装 测量范围10E5Pa  1E-1Pa）

预留真空接口

KF25抽气口    KF16放气口   6mm卡套进气口