小型实验室精密刻蚀溅射仪器

郑州科探仪器设备是高质量定制物理 气相沉积（PVD）系统的设计者和制造商，客户服务和售后服务出色。拥有7年以上真空和薄膜沉积技术经验。其研发团队在学界科学家和工程师的支持下，高度积极地开发新设计以满足客户的特殊要求。

    郑科探的工程团队设计和制造的组件符合高质量标准。KT-Z1650PVD真空镀膜机已通过分销商销往许多大学和研究中心，并得到了很好的参考和反馈。

 仪器描述：

  小型实验室精密刻蚀溅射仪器，能够在非导电或导电不良的样品上涂布金（Au），钯（Pd），铂（Pt）和金/钯（Au / Pd）的薄膜。 在较短时间内即可形成具有细粒度的均匀薄膜，使样品适用于扫描电子显微镜（SEM）分析。仪器结构紧凑，全自动控制，设计符合人体工程学，所得结果一致，可重复性高。


     产品特点：

     • 彩色触摸屏：数据输入简单快速

     • 通过触摸屏中直观检测数据和曲线；历史页面可显示历史涂层信息。

     • 可控镀膜速率，可得到较精细的晶粒结构

     • 可手动或自动，根据时间或根据厚度进行溅射

 • 样品台更换简单：标准旋转样品台或选用行星式旋转样品台。标准样品台高度可调、可倾斜、可旋转；行星式旋转样品台为多孔样品带来好的喷金效果。

小型实验室精密刻蚀溅射仪器技术参数；

控制方式
7寸人机界面 手动 自动模式切换控制

溅射电源
直流溅射电源

镀膜功能
0-999秒5段可变换功率及挡板位和样品速度程序

功率
≤1000W

输出电压电流
电压≤1000V  电流≤1A

真空
机械泵 ≤5Pa（5分钟）   分子泵≤5*10^-3Pa

溅射真空
≤30Pa

挡板类型
电控

真空腔室
石英+不锈钢腔体φ160mm x 170mm

样品台
可旋转φ62  （可安装φ50基底）

样品台转速
8转/分钟

样品溅射源调节距离
40-105mm

真空测量
皮拉尼真空计（已安装 测量范围10E5Pa  1E-1Pa）

预留真空接口
KF25抽气口    KF16放气口   6mm卡套进气口