科探KT-0904T-RL迷你型真空高低温探针台

迷你型真空高低温探针台KT-0904T-RL




组件，温度可低至-196℃，；真空系统可选机械泵或分子泵系统，真空度可达到10-3Tor。

 

高低温真空探针台应用：

可应用于低温或高温真空环境下被测样品的电学性能测试分析，如：半导体/微电子，电子，机电，物理，化学，材料，光电，纳米，微机电/MEMS，生物芯片，航空航天等科学研究领域，以及IC设计/制造/测试/封装、LED、LCD/OLED、LD/PD、PCB、FPC等生产制造领域。

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迷你型真空高低温探针台KT-0904T-RL参数



真空腔体

类型

加热型350℃   或者加热制冷型 室温到350℃ 室温到-190℃

腔体材质

304不锈钢

腔体内尺寸

φ90x40mm

腔体上视窗尺寸

Φ42mm（选配凹视窗Φ22mm）

腔体抽气口

KF16

腔体进气口

公制3mm 6mm气管接头 英制1/8mm 1/4mm 气管接头可选

腔体出气口

公制3mm 6mm气管接头 英制1/8mm 1/4mm 气管接头可选

腔体正压

≤0.05MPa

腔体真空度

机械泵≤5Pa （5分钟）  分子泵≤5E-3Pa（30分钟）

样品台

样品台材质

304不锈钢

样品台尺寸

26X26mm

样品台-视窗 距离

30mm（可选凹视窗间距15mm）

样品台测温传感器

A    级PT100铂电阻

样品台温度

室温到350℃（可选高低温样品台 高温350℃低温-190℃）

样品台测温误差

±0.2℃

样品台变温速率

高温10℃/min   低温5℃/min  较大值

温控仪

温度显示

7寸人机界面

温控类型

标准PID温控 +自整定（可选30段编程控温）

温度分辨率

0.1℃

温控精度

±0.5℃

温度信号输入类型

PT100热电阻 （可选 K    S  B型热电偶）

温控输出

直流线性电源加热（液氮流量线性控制液氮制冷）

辅助功能

温度数据采集并导出 实时温度曲线+历史温度曲线

探针

电信号接头

配线转接 BNC接头 BNC三同轴接头 SMA 接头 香蕉插头 线长1.2米

电学性能

绝缘电阻 ≥4000MΩ     介质耐压 ≤200V    电流噪声 ≤10pA

探针数量

4探针（可定做6探针）

探针材质

镀金钨针

探针尖

10μm

探针移动平台

X轴移动行程

12mm    ±6mm

X轴控制精度

≤5μm

Y轴移动行程

12mm    ±6mm

Y轴控制精度

≤5μm

Z轴移动行程

12mm    ±6mm

Z轴控制精度

≤5μm

数码显微镜

显微镜类别

物镜放大+电子放大

显微镜放大倍数

100倍

显微镜工作间距

50-150mm

相机分辨率

1080P  60帧  

相机信号输出

HDMI输出+USB输出

LED可调光源

LED光源

显示屏

5寸 屏幕一体机