供应美国野马真空Orion Comp系列卷绕镀膜设备

400毫米到2000毫米柔性基板在自由跨度方向和范围广泛的配置,适合高温和腐蚀过程。
　　这个系列是一个Orion平台模块化沉积近乎无限范围的配置。标准卷处理和驱动机制纳入定制沉积区。野马的开放室设计主体提供了源配置的灵活性,同时还能使**的预防性维修周期,使Orion系列较多的时间用于卷材的沉积。
　　温度增加,冷却和均匀性是关键的，驱动程序在柔性衬底上沉积大格式，提供了一个Orion平台**为范围广泛的加热、冷却和沉积源配置。
　　单或双侧碰的柔性基板提供了*的网络宽度以及可选的插页提供衬底和薄膜层保护整个制造过程。
　　空气和过渡室被独立，在沉积面积允许**辊变化没有暴露大气暴露到过程。“Orion”系列达到**的正常运行时间,实现完整的辊变化在不到3个小时。
　　几个配置可供优化过程基于温度、沉积方法、源尺寸和取向。
　　精密温度控制滚筒90英寸的直径
　　●±1%或1℃温度控制在滚筒表面
　　●-100℃到+ 300℃温度配置
　　●网络速度选项
　　0.1 - 5米/分钟(+ / - X %的速度精度)
　　1.0 - 15米/分钟(+ / - X %的速度精度)
　　10 - 50米/分钟(+ / - X %的速度精度)
　　注入沉积区域差异提供2来源/区
　　●X沉积区为正面涂层总计高达X源位置
　　●X沉积区为背面涂层总计高达X源位置
　　沉积选项
　　●可旋转的或平面磁控管溅射阴极
　　●标准功率配置- RF、脉冲直流,直流、交流和HIPIMS
　　●每个沉积位置也可以配置为下面的沉积来源
　　●PECVD方法,离子源,XXXXX
　　设施需求
　　●近似系统尺寸,长度,宽度和间隙区域
　　●**冷冻水系统
　　●电力需求依赖于源配置
　　●多个**的地面接地连接\
　　●洁净室的兼容性
　　●网络连接或**电话线路

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