多晶硅定向凝固炉 设备用途及简介 本设备为立式结构,具有高真空、充气及高温熔化定向凝固等功能。是多晶硅原料熔化及成锭的的优选设备。在添加等离子加热源后可满足部分提纯要求。设备具有自动控温、**升温冷却、**升降取锭、**压保护等功能。同时设有操作平台方便操作及维护。 一、 主要技术参数 1、电源额定容量:160KW 2、中频感应加热或电阻加热(可选) 3、较高温度:1600℃ (90kg) 4、控温精度:±3℃(热电偶) 5、进出坩埚方式:炉底升降 6、炉底较位移:1000mm 7、极限真空度:≤6.67*10-3Pa(5*10-5乇) 8、定向凝固速度:5-25mm/小时
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