高纯氩,一种看似普通的工业气体,却在各个领域展现出非凡的**。从半导体制造到,从健康到环境保护,高纯氩的身影无处不在。随着科技的不断发展,高纯氩的应用领域还将不断拓展,为人类创造较加美好的未来。
在薄膜沉积过程中,高纯氩气作为载气和保护气,将反应气体输送到反应腔室,并形成稳定的等离子体环境,确保薄膜均匀沉积。同时,氩气还能有效防止晶圆表面氧化,提高薄膜质量。
在刻蚀工艺中,高纯氩气则用于产生高能离子,对晶圆表面进行刻蚀,形成所需的电路图案。氩气的化学惰性使其与晶圆材料发生反应,保证了刻蚀的精度和一致性。
高纯氩气的纯度直接影响光纤预制棒的质量。如果氩气中含有杂质,会导致光纤预制棒出现气泡、杂质等缺陷,降低光纤的传输性能。因此,光纤预制棒制造过程中对高纯氩气的纯度要求高,通常需要达到99.99以上。
高纯氩气在使用时的注意事项有哪些?
高纯氩气是一种无色、无味的(稀有)惰性气体,分子量39.938,分子式为Ar,在标准状态下,其密度为1.784kg/m3,沸点为-185.7℃。那么关于高纯氩气在使用时需要注意一些事项,只有这样才能的使用它,关于这方面信息,为大家详细说明下:
防止高纯氩气泄漏到工作场所空气中。高纯氩气在搬运时轻装轻卸,防止钢瓶及附件破损。配备泄漏应急处理设备。当其含量增加导致氧气含量**19.5%时有可能引起窒息。包装的气瓶上均有使用的年限,凡到期的气瓶必须送往有部门进行安全检验,方能继续使用。每瓶气体在使用到尾气时,应保留瓶内余压在0.5MPa,不得**0.25MPa余压,应将瓶阀关闭,以保证气体质量和使用安全。瓶装高纯氩气和严禁可燃气体与助燃气体堆放在一起,不准靠近明火和热源,应做到勿近火、勿沾油腊、勿爆晒、勿重抛、勿撞击。
它的性质十分不活泼,既不能燃烧,也不助燃。在飞机制造、造船、原子能工业和机械工业部门,对金属,例如铝、、铜及其合金和不锈钢在焊接时,往往用氩作为焊接保护气,防止焊接件被空气氧化或氮化。用于焊接、不锈钢制造、冶炼,还用于半导体制造工艺中化学气相沉积、晶体生产、热氧化、外延、扩散、多晶硅、邬化、离子注入、载流、烧结等,用作平衡气、标准气、零点气等。
高纯氩气处置储存:
氩气可在**-184℃的温度下以液态形式储存和运送,但焊接用氩气大多装于钢瓶中使用。
氩气瓶是一种钢制圆柱形高压容器,其外表面涂成灰色并注有绿色“氩”字标志字样。
氩气瓶在使用中严禁敲击、碰撞、瓶阀冻结时,不得用火烘烤;不得用电磁起重搬运机搬运氩气瓶;夏季要防日光暴晒;瓶内气体不能用尽,返厂氩气瓶气余压力应不小于0.2MPa;氩气瓶一般直立放置。
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