洁净室检测、洁净度检测是无尘室性能测试的**,气流测试、压力测试,与泄漏测试,都只在确认无尘室的洁净度不受外来影响,因此洁净度测试都放在前述几项测试都通过之后。洁净度测试完毕,与落尘有关的性能因素就都测试完毕,其它测试对洁净度影响不大,或是属于其它环境测试。
洁净室检测的工艺流程:
1、风机空吹;
2、室内清扫;
3、调整风量;
4、安中效过滤器;
5、安过滤器;
6、系统运行;
7、过滤器检漏;
8、调整风量;
9、调整室内静压差;
10、调整温湿度;
11、单相流洁净室截面平均速度、速度不均匀的测定;
12、室内洁净度测定;
13、室内浮游菌和沉降菌的测定;
14、和生产设备有关的工作和调整。
洁净室综合性能检测方法
一、过滤器检漏
1 对于安装于送、排风末端的过滤器,应用扫描法进行过滤器安装边框和全断面检漏。扫描法有检漏仪法(光度计法)和采样量小为1 L炖m i n的粒子计数器法两种。对于**过滤器,扫描法有凝结核计数器法和激光粒子计数器法两种。
20检漏仪法检漏
( 1 )被检漏过滤器必须已测过风量,在设计风速的8 0%~12 0 %之问运行。
(2)在同一送风面上安有多台过滤器时,在结构上允许的情况下,宜用每次只暴露1台过滤器的方法进行测定。
(3)当几台或全部过滤器必须同时暴露在(溶胶中时,为了对所有过滤器造成均匀混合,宜在风机吸入端或这些过滤器前方支千管中引入检漏用气溶胶,立即在受检过滤器的正前方测定上风侧浓度。
洁净室洁净度检测,洁净室的检测状态可分为三类
(1)、空态设施齐全的洁净室所有管线接通并运行但无生产设备、材料及生产人员。
(2)、静态已全部建成的设施齐备的洁净室中安装完生产设备并按业主供应商商定的方式试远转,但场内无生产人员。
(3)、动态设施处于按规定方式运行的状态并有规定的人员在场以规定的方式工作。
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