制氧厂气体配比柜 用于气体的混合 制气设备

  智能气体混合配比器(Mass Flow Meter 缩写为MFM)用于对气体的质量流量进行精密测量；质量流量控制器(Mass Flow Controller缩写为MFC)用于对气体的质量流量进行精密测量和控制。
   它们在半导体微电子工业、特种材料研制、化学工业、石油工业、医药、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的应用。其典型的应用场合包括； 电子工艺设备，如扩散、氧化、外延、CVD、等离子刻蚀、溅射、离子注入；以及真空镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、毛细管测量、气相色谱仪及其它分析仪器
   多功能流量积算仪，对市场大部分流量计，流量控制器兼容，工作电压范围宽，抗干扰的能力强，采用工业控制器plc稳定可靠。7寸工控触摸屏人机界面 操作简单可靠，系统功能强大，远超仪表控制功能。

   流量显示仪用于为气体质量流量计（MFM）提供工作电源，操作控制，流量设定和流量数字显示等。可直接与七星D07系列和CS系列质量流量计配套使用，原则上也可与国内外其他品牌质量流量控制器配合使用。