精密气震平台配真空高低温探针台

精密光学平台 精密气震平台配真空高低温探针台

面包板结构为蜂窝内核三层夹心结构，重量轻，强度高，具有一定的减震作用；

顶板采用 430 高导磁不锈钢，坚固耐用，其表面有 M6 螺纹均布孔，

均布间距为 25 毫米，方便固定各种仪器设备；

面包板平面度达到 0.1mm/600mm*600mm,平整度*，可为各种实验

提供坚固稳定的基准面。

防振效果*，一般设备效率可达 97%以上。


产品规格：

型号
HGPTA06-06-02

应用范围
适合于光学实验、激光电子、精密仪器生产检测、航空航天实验等领域

1、台面板厚度
6mm厚1Cr17优质高导磁不锈钢，均布25mm孔距M6螺纹孔

2、台体尺寸
600mmx600mmx200mm

3、台面离地高度
800mm

4、台体总尺寸
（长*宽*高）
600mm*60mm*800mm

5、固定螺孔
台面布M6螺孔阵距25mm×25mm

6、台体内状结构
蜂窝状钢质结构

7、振幅
≤5um

8、台面平整精度
0.1mm/m2

9、表面粗糙度
0.8μm-1μm

10、固有频率
垂直3～6Hz 水平3～6Hz

11、负载重量
1200kg

12、台体支撑方式
支架立柱120x120mm，配8个螺旋升降轴承结构重型支撑脚，高分子复合橡胶垫提供对高频振动的隔振能力，结构坚固稳定。

14、包装运输
木箱包装不回收，物流运输送货上门（不负责上楼）

15、安装
台面与支架分别包装，支架整体发货，只需用叉车或其他起重设备或专业搬运操作人员，将台面放置在支架上，通过调节上下8个升降支撑脚达到水平即可使用

16、其他
若需我单位提供售后安装和搬运上楼，请在购买前与我单位销售客服人员确定



精密气震平台配真空高低温探针台真空腔体

腔体材质
304不锈钢

上盖开启
铰链侧开

加热台材质
304不锈钢

内腔体尺寸
φ160x90mm

观察窗尺寸
Φ70mm

加热台尺寸
φ60mm

观察窗热台间距
75mm

加热台温度
﹣196~350℃

加热台温控误差
±1℃

真空度
机械泵≤10Pa   分子泵≤10-3Pa

允许正压
≤0.1MPa

真空抽气口
KF25真空法兰

气体进气口
3mm-6mm卡套接头

电信号接头
SMA转BNC X 4

电学性能
绝缘电阻 ≥4000MΩ   介质耐压 ≤500V

探针数量
4探针

探针材质
钨针  

探针尖
10μm

探针移动平台

X轴移动行程
30mm    ±15mm

X轴控制精度
≤0.01mm

Y轴移动行程
13mm    ±12.5mm

Y轴控制精度
≤0.01mm

Z轴移动行程
13mm    ±12.5mm

Z轴控制精度
≤0.01mm

电子显微镜
显微镜类别

物镜

物镜倍数
0.7-4.5倍

工作间距
90mm

相机
sony 高清

像素
1920※1080像素

图像接口
VGA

LED可调光源
有

显示屏
8寸

放大倍数
19-135倍,视场范围15×13-2.25×1.7mm，最小可分辨0.08mm