无尘洁净室是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、细菌等之污染物排除,并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计建成的无尘洁净房间。
洁净室的范围可以从非常小到非常大。一方面,单个用户实验室可以按照几平方米的洁净室标准建造,另一方面,整个制造设施可以包含在工厂地板占地数千平方米的洁净室中。在大和小之间,还有模块化的洁净室。有人认为,他们降低了扩展技术的成本,并且不易受到灾难性故障的影响。
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