用途 1.半导体制造行业中气体流量控制 2.各种真空镀膜设备 3.特种材料表面处理 4.气体燃烧控制 5.混和配气系统 6.泄漏探测系统 7.环境测量与分析设备 8.分析仪器的气体流量计量与控制 9.化工、石化、冶金、光纤熔炼等需要气体测量和控制的场所