陕西两级真空泵维修中心

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此类产品的极限真空一般为300 pa～3000pa左右，正常工作压力为500pa～105pa。主要用于抽除空气或含有大量可凝性气体，且真空度要求不高的工艺流程。如化工和制药行业的真空干燥和真空浓缩、轻纺行业和造纸行业的真空脱水、大型水泵的引水、颗粒物料的真空输送等工艺。 （3）干式真空泵：它是一种泵内无油（液体）密封的变容真空泵。 根据不同的配置，此类产品的极限真空一般为0.005 pa～100pa左右，主要用于抽除无油性气体的特殊工艺流程。如半导体、集成电路、微电子行业。 （4）罗茨真空泵：泵内装有两个反向同步旋转的双叶或多叶形的转子。转子间、转子与泵壳内壁间均保持一定的间隙。

⑶扩散泵：以低压高速蒸气流（油或汞等蒸气）作为工作介质的喷射真空泵。气体分子扩散到蒸气射流中，被送到出口。在射流中气体分子密度始终是很低的，这种泵适于在分子流状态下工作。可分为： ①自净化扩散泵：泵液中易挥发的杂质经专门的机械输送到出口而不回到锅炉中的一种油扩散泵。 ②分馏式扩散泵：这种泵具有分馏装置，使蒸气压强较低的工作液蒸气进入高真空工作的喷嘴，而蒸气压强较高的工作液蒸气进入低真空工作的喷嘴，它是一种多级油扩散泵。 ⑷扩散喷射泵：它是一种有扩散泵特性的单级或多级喷嘴与具有喷射真空泵特性的单级或多级喷嘴串联组成的一种动量传输泵。油增压泵即属于这种型式。 ⑸离子传输泵：它是将被电离的气体在电磁场或电场的作用下，输送到出口的一种动量传输泵。

这种泵是一种使气体分子被吸附或凝结在泵的内表面上，从而减小了容器内的气体分子数目而达到抽气目的的真空泵，有以下几种型式。 1）吸附泵 它主要依靠具有大表面的吸附剂（如多孔物质）的物理吸附作用来抽气的一种捕集式真空泵。 2）吸气剂泵 它是一种利用吸气剂以化学结合方式捕获气体的真空泵。吸气剂通常是以块状或沉积新鲜薄膜形式存在的金属或合金。升华泵即属于这种型式。 3）吸气剂离子泵 它是使被电离的气体通过电磁场或电场的作用吸附在有吸气材料的表面上，以达到抽气的目的。它有如下几种型式。

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