• 彩色触摸屏:数据输入简单快速 • 通过触摸屏中直观检测数据和曲线;历史页面可显示历史涂层信息。 • 可控镀膜速率,可得到较精细的晶粒结构 • 可手动或自动,根据时间或根据厚度进行溅射 • 样品台更换简单:标准旋转样品台或选用行星式旋转样品台。标准样品台高度可调、可倾斜、可旋转;行星式旋转样品台为多孔样品带来好的喷金效果。