准分子灯又称紫外准分子灯,通过采用准分子气体的配比,可以获得172nm、222nm或308nm等不同单色波长的准分子紫外光。准分子**的紫外光具有光谱单一、谱线窄、单色紫外光谱的特点,使得使用较集中的功率进行光**成为可能。
准分子灯功能应用
1、增加表面能量和亲水性
表面能以每米毫牛顿 (mN/m) 为单位。表面能决定了流体和固体表面之间的接触角。准分子光清洗作为其他清洗设备对表面处理的替代品,准分子的冷光大减少了类似红外线等产生的多余热量。这种降低的热负荷意味着不会损坏基材表面结构,从而保证较好的粘接结果为了确保附着力和均匀分布。例如在印刷和粘合等应用中,需要实现较小的接触角,提高清洁度。
虽然聚合物和其他复合材料的表面辐照可能是准分子常用的用途,但这种处理也几乎适用于任何表面。将准分子技术应用于硅晶片、金属和玻璃时,清洁、涂层和粘合也可以得到显着改善。
2、较广泛的应用范围
在某些情况下,可以实现完全亲水化,其中整个表面变得润湿。此时,液体的接触角达到零度,将液滴转化为液膜。目前,准分子灯正用于生态学、光化学、光生物学、医学、物理学、微电子学以及包括智能制造工业在内的各种工业分支等等。
准分子光源特点
1、单色性好,紫外输出能量集中,紫外输出强度高,可达100mW/cm²;
2、非相干光有利于大面积加工;
3、无传统光源固有的电腐蚀现象,使用寿命大加长;
4、可随时瞬间开启熄灭,*预热,*快门,开关次数不影响使用寿命;
5、开启和运行不受周围环境温度影响;
6、冷光源,不产生红外输出,对被处理对象无明显加热效应,适用于热敏材料处理;
7、绿色环保,制造*用汞,**次污染和废旧回收处理问题。
172 nm波长准分子灯应用领域:
波长为172nm的准分子真空紫外光子能量高达7.2 eV,足以打开大多数分子键,能实现传统低压汞灯很难或根本不能实现的光化学反应,可广泛应用于:
□ 表面清洗。可用于晶圆和平板显示器制造的清洗过程,清洗掩摸,去除光刻胶;
□ 表面刻蚀和改性(如聚酰亚胺,氟材料等);
□ 低温光化学气相沉积(Photo-CVD)。如电子薄膜Ta2O5和HfO2等;
□ 光氧化、光退火。如对电子薄膜SiO2进行处理以改善其化学计量性;
□ 室温下光催化金属化。如在塑料表面镀金属电;
□ 表面活化,以增加表面张力和湿润性;
□ **降解。除总**碳(TOC)制取**纯水,分解农药残留,印染废水的光化学脱色;
准分子光源特点:
□ 单色性好,紫外输出能量集中,紫外输出强度高,可达100mW/cm2;
□ 非相干光有利于大面积加工;
□ 无传统光源固有的电腐蚀现象,使用寿命大加长;
□ 可随时瞬间开启熄灭,*预热,*快门,开关次数不影响使用寿命;
□ 开启和运行不受周围环境温度影响;
□ 冷光源,不产生红外输出,对被处理对象无明显加热效应;
□ 绿色环保。制造*用汞,**次污染和废旧回收处理问题。
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