172nm准分子臭氧制造 生产厂家

准分子灯，又称紫外线准分子灯，通过采用准分子气体配比获得不同单色波长，如172nm、222nm或308nm等高强度的准分子紫外光。准分子**的紫外线光具有单光谱特性，狭窄的光谱线和单色紫外光谱使得它能用较集中的功率来进行光处理。与传统汞紫外线灯比较，准分子紫外线灯光强**大，靶向，无汞危害，绿色环保，可回收，**次污染，克服现有技术瓶颈，以其高能量密度、低反应温度、大反应面积、反应时间短的**特性，在微电子、医学、材料科学和环境保护等领域获得广泛和特的应用。
172 nm波长准分子灯应用领域：
波长为172nm的准分子真空紫外光子能量高达7.2 eV，足以打开大多数分子键，能实现传统低压汞灯很难或根本不能实现的光化学反应，可广泛应用于：
□ 表面清洗。可用于晶圆和平板显示器制造的清洗过程，清洗掩摸，去除光刻胶；
□ 表面刻蚀和改性（如聚酰亚胺，氟材料等）；
□ 低温光化学气相沉积(Photo-CVD)。如电子薄膜Ta2O5和HfO2等；
□ 光氧化、光退火。如对电子薄膜SiO2进行处理以改善其化学计量性；
□ 室温下光催化金属化。如在塑料表面镀金属电；
□ 表面活化，以增加表面张力和湿润性；
□ **降解。除总**碳（TOC）制取**纯水，分解农药残留，印染废水的光化学脱色；

准分子光源特点：
□ 单色性好，紫外输出能量集中，紫外输出强度高，可达100mW/cm2；
□ 非相干光有利于大面积加工；
□ 无传统光源固有的电腐蚀现象，使用寿命大加长；
□ 可随时瞬间开启熄灭，*预热，*快门，开关次数不影响使用寿命；
□ 开启和运行不受周围环境温度影响；
□ 冷光源，不产生红外输出，对被处理对象无明显加热效应；
□ 绿色环保。制造*用汞，**次污染和废旧回收处理问题。

准分子光源作用原理
基于准分子光源特点，我们来看看准分子光源是如何产生作用的。以准分子波长172 nm为例，紫外线照射固体表面后，表面的污染物**分子结合被强的光能切断、氧化，而后分解成氧气和氢气等易挥发性物质，终挥发消失，被清洗后的表面清洁度高。
1、打破分子键
打破**物质的分子键的能量需要**过物质结合能的光能，同时物质的能量吸收(激发)越大，越容易引发反应(分解)并且所需的处理时间越短。因此使用低压紫外线灯无法打破的结合能可以使用准分子灯产生的 172nm 波长进行分解。
2、大量产生激发态氧原子
准分子紫外线灯与传统汞紫外线灯比较，光强**大，靶向，无汞制造，绿色环保，可回收，**次污染。与低压紫外灯的185nm波长相比，准分子灯172nm波长的分子氧吸收系数大20倍左右。这不仅可以产生高密度的活性氧，而且通过直接作用于氧气，可以产生具有强大氧化能力的强激发氧。

准分子光源特点
1、单色性好，紫外输出能量集中，紫外输出强度高,可达100mW/cm²;
2、非相干光有利于大面积加工;
3、无传统光源固有的电腐蚀现象，使用寿命大加长;
4、可随时瞬间开启熄灭，*预热，*快门，开关次数不影响使用寿命;
5、开启和运行不受周围环境温度影响;
6、冷光源，不产生红外输出，对被处理对象无明显加热效应，适用于热敏材料处理;
7、绿色环保，制造*用汞，**次污染和废旧回收处理问题。
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