洁净室工程有三个原则:禁尘、带尘、产尘。风淋室作为进入洁净室的缓冲通道之一,是控制带尘的净化设备之一,它可以较大限度地减少员工进出无尘洁净室所带来的污染问题。风淋室的两道门电子互锁,可以兼起气闸室的作用,阻止外界污染和未被净化的空气进入无尘洁净区域,达到生产车间所要求的生产洁净环境。
洁净室工程的作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度,使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造,此空间我们称之为无尘洁净室。按照惯例,无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。也是说所谓无尘并非没有一点灰尘,而是控制在一个非常微量的单位上。当然这个标准中符合灰尘标准的颗粒相对于我们常见的灰尘已经是小的微乎其微,但是对于光学构造而言,哪怕是一点点的灰尘都会产生非常大的不良影响,所以在光学构造产品的生产上,无尘是必然的要求。
对于大部分的洁净室工程,为了防止外界污染侵入,需要保持内部的压力(静压)**外部的压力(静压)。压力差的维持一般应符合以下原则:
1、洁净空间的压力要**非洁净空间的压力。
2、洁净度级别高的空间的压力要**相邻的洁净度级别低的空间的压力。
压力差的维持依靠新风量,这个新风量要能补偿在这一压力差下从缝隙漏泄掉的风量。所以压力差的物理意义是漏泄(或渗透)风量通过洁净室的各种缝隙时的阻力。
洁净室工程的要求:
1、洁净性能好,不会吸附尘埃,十分适用于净化车间墙体,而且十分节能环保,*。
2、保湿性能好,强度高,隔热保温。可作天花围护布局板材承重,抗弯抗压。
3、施工便利,重量轻,净化厂房隔墙、**板通常多选用50mm厚的夹板;而且彩钢板设备灵敏便利,施工周期短,车间能够依据出产需求进行调整,运用彩钢板墙体,车间改造施工愈加便利。
4、送风过滤设备:送风口选用不锈钢结构,美观易清洗,冲孔网板用烤漆铝板,不易生锈粘尘;送回风管道用热渡锌板制成,贴净化保温棉。
5、地上处置:地上通常选用环氧自流坪地坪或耐磨塑料地板,如有防静电需求的,可选用防静电地板。
洁净室工程中的气流速度规定:
气流速度是指洁净室内的气流速度,对于乱流洁净室由于主主要靠空气的稀释作用来减轻室内污染的程度,所以主要用换气次数这一概念,而不直接用速度的概念,不过对室内气流速度也有如下要求;
1、送风口出口气流速度不宜太大,和单纯空调房间相比,要求速度衰减较快,扩散角度较大。
2、吹过水平面的气流速度(例如侧送时回流速度)不宜太大,以免吹起表面微粒重返气流,而造成再污染,这一速度一般不宜大干0.2m/s。
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