半导体晶圆清洗及干燥

---

用于晶圆清洗及干燥的安全可持续的溶剂替代产品

越来越小的芯片尺寸，日益复杂的结构以及对安全性和材料相容性的关注使得半导体清洗和干燥比以往任何时候都较具挑战性。

为了迎接这些挑战，在越来越多的关键清洗和干燥步骤中，世界各地的晶圆厂都意识到了3M™ Novec™ 工程流体所具有的**的安全和优异的性能。

半导体晶圆清洗

Novec 流体是一系列不易燃，非臭氧消耗，低**变暖潜能的溶剂清洗剂，对于晶圆颗粒去除非常有效，同时与精细薄膜，光阻和大部分结构材料可兼容—在许多应用中成为了IPA，NMP和其它传统溶剂的安全，可持续发展的, 高性能替代产品。

例如，Novec流体对残留的含氟聚合物残具有优良的溶解性，可帮助有效去除MEMS和硅通孔（TSV）中的Bosch蚀刻所产生的颗粒。当和其它溶剂混合时，NOVEC流体可以有效地去除在铜/低介电常数设备中常见的对水敏感的基材上的光阻。

Process flow schematic of the Bosch etch process Bosch蚀刻工艺（图1）经常用于微机械MEMS，光学波导和DRAM深沟槽电容器的制造中。采用Bosch蚀刻的硅通孔互联会在孔道侧壁上生成的含氟聚合物的沉积，这些沉积采用常规的清洗溶剂很难去除。 图 2:NMP 比较

图 1:Bosch蚀刻工艺流程示意图

在这项研究中（图2），对NMP和NOVEC7200流体对Bosch蚀刻工艺产生的含氟聚合物侧壁残留物的去除能力进行的对比。在这里可以看到，二次离子质谱图在质量数343处出现一个很强的信号，这个信号代表了晶圆上的一个含氟聚合物片段。 用NOVEC7200清洗的样品所显示的信号较低。

NOVEC流体作为纯溶剂，共沸混合物或共溶剂，可以有效去除亚微米级的微粒和离子污染物。高溶剂能力和低表面张力，可以使这些液体渗透到狭小的空间和复杂的几何形状 中- 以确保晶圆的高清洗效率，特别是在3D晶圆清洗中。

用于半导体晶圆清洗的Novec流体

3M™ Novec™ 7100 Engineered Fluid
3M™ Novec™ 7100DL Engineered Fluid
3M™ Novec™ 71IPA Engineered Fluid
3M™ Novec™ 7200 Engineered Fluid
3M™ Novec™ 7200DL Engineered Fluid
3M™ Novec™ 7300 Engineered Fluid

图 3:Surface tension gradient draws water away from surface to Marangoni Dry Mechanism

半导体晶圆干燥 Novec流体所具有的低表面张力，低粘度和高挥发速度，使他们在具有疏水性和高高宽比的结构的干燥中特别有效。 NOVEC流体可以完全蒸发，不留痕迹，不会腐蚀精密的基材。 这在某些应用中特别重要，如表面张力梯度干燥，通常使用IPA在氮气中进行。随着半导体器件尺寸变得较小，较复杂和较加密集，腐蚀性的溶剂如IPA所产生的很小的腐蚀都可能会导致严重的缺陷，从而增加了设备故障和报废的机率。此外，在干燥后，IPA会在晶圆表面残留，残留物在随后的高温过程中可能形成Si- C键，从而降低薄氧化层的可靠性。 某些NOVEC流体所具有的*特物理特性，使它们成为用于表面张力梯度干燥的理想液体。因为NOVEC流体不可燃，而IPA在空气中的燃烧极限为2%，同IPA相比，它们可以应用的工艺条件较加广泛。

用于半导体晶圆干燥的Novec流体

3M™ Novec™ 7100 Engineered Fluid
3M™ Novec™ 71IPA Engineered Fluid

海郑实业成立于2009年，主要有三项业务强电电气产品、弱电机房施工、信息化建设项目，立足服务电力、通信系统安全，为行业发展做出贡献。

强电电气安装产品：与ABB、3M、施耐德品牌制造商合作，主要为“电气配电系统”方向，提供电缆附件、空气绝缘开关设备、气体绝缘开关设备、主开关元件、户外开关设备、继电保护装置和箱变等全系列产品提供服务和解决方案。与中电建集团合作，具有**公用工程、电力工程施工总承包壹级、通信工程施工总承包三级、输变电工程专业承包二级资质。“Seazheng”品牌委托研发生产的铁路、公路隧道照明接线盒、电缆穿刺分支线夹采用**的*阻燃型材料，通过了国家型式测试标准及铁道部质检中心测试，产品质量达到标准化水平。公司产品已获得CE、ROHS、IP68测试报告、阻燃测试报告、外型**、实用新型**等多种产品资质认证。

弱电机房施工：与施耐德合作主要为“电源+配电+工控”方向，提供机房供配电及电气工程系统方案。

信息化建设项目：无线杆体状态监测管理系统、人脸自动识别测温进出门禁系统等信息化项目。

盈利模式：产品品质高、质量优、价格好，赢得广大客户信赖。

商业模式：通过线上电商平台、线下开发客户结合方式，主要服务B端市场，服务电力、通信行业目标市场，充分将资源优势转换为产品优势。

主要客户分布于：电力、通信施工运营公司。

企业口号：电力安全，高效专业

企业理念：商都出品 沪上实业

企业愿景：致力于成为电力绝缘安全产品供应平台

企业**观：一群执着的人，一个专业的平台，一份专注的事业

品牌故事：商都出品，沪上实业

公司总经理张明鹤为上海市科技企业家创新**力培训学员，闵行区、莘庄镇两级党代表，上海市青年五四奖章获得者。

公司通过ISO9001(质量管理体系认证）、ISO14001（环境管理体系认证）、ISO45001(职业健康安全管理体系认证）三体系**标准认证。

公司是上海市电力行业协会、上海市电力工程行业协会、上海市信息服务业行业协会等社团组织的会员单位。

公司始终以“敢为人先，追求卓越”为经营理念，在业务上精益求精，在服务商精诚，以信誉为宗旨，以质量为保证，为用户排忧解难，提供一切方便的服务。