郑科探KT-Z165M4RT 微型真空高低温探针台 KT郑科探液氮真空探针台

电信号接头 配线转接 BNC接头   BNC三同轴接头  SMA 接头  香蕉插头  线长1.2米
电学性能 绝缘电阻 ≥4000MΩ   介质耐压 ≤200V  电流噪声 ≤10pA
探针数量 4探针（可扩展5探针）
探针材质 镀金钨针 （其他材质可选）
探针尖 10μm
手动探针移动平台
X轴移动行程 20mm    ±10mm（需手动推动滑台）
X轴控制精度 ≥500μm
R轴移动行程 120°    ±60°（需手动旋转探针杆）
R轴控制精度 ≥500μm
Z轴移动行程 2mm    ±1mm
Z轴控制精度 ≤50μm（需手动螺纹调节探针杆）

技术参数；

真空腔体

类型

高温型室温到350℃

高低温型 室温到350℃   室温到-196℃

腔体材质

304不锈钢 6061铝合金 可选

腔体内尺寸

127mmX57mmX20mm

腔体外尺寸

150mmX80mmX32mm

腔体重量

不锈钢材质 约1.5KG   铝合金材质 约0.5KG

腔体上视窗尺寸

Φ42mm（可选配凹视窗用于减少窗口和样品之间距离）

腔体抽气口

KF16法兰（其余接口规格可转接）

腔体真空测量口

KF16法兰（其余接口规格可转接）

腔体进气口

公制3mm 6mm气管接头 英制1/8mm 1/4mm 气管接头可选

腔体冷却方式

腔体水冷+上盖气冷

腔体水冷接口

6mm快拧 或 6mm快插

腔体正压

≤0.05MPa

腔体真空度

机械泵≤5Pa （5分钟）  分子泵≤5E-3Pa（30分钟）