aerotech PRO-SV 长行程精密载物台

PRO-SV 长行程提升级载物台

 

我们的 PRO-SV 载物台的小步长为 10 nm，是市面上的螺杆驱动提升级，此外，它们还能在短的高度上提供长的行程范围。它们也是可以移动高达60公斤质量的长行程升降级，同时提供出色的有效载荷可达性和几何性能。

 

设计特点

支持 60 kg 负载能力，行程高达 50 mm，速度为 20 mm/s

通过高精度交叉滚子轴承提供出色的直线度和角性能

通过结合精密研磨滚珠丝杠、无槽力矩电机和低膨胀线性编码器，实现 10 nm 步长

通过高可靠性驱动机构提供较长的使用寿命

与 PRO-SL 和 PRO-LM 线性载物台无缝集成

提供 ThermoComp，®可在不断变化的环境中提供一致的性能

主要应用

PRO-SV载物台非常适合高度受限的应用或堆叠多个定位级的情况，包括：

 

同步加速器和光束线样品操作

晶圆检测

表面计量

激光微加工

精密制造

在薄型封装中实现长途旅行

与其他类型的垂直运动载物台不同，PRO-SV 具有直接撞击移动滑块的驱动机构。这提供了非常长的垂直行程范围，并保持了尽可能短的高度，从而可以自由，清晰地访问用户的有效载荷。在设计运动系统时，小化工作点高度尤为重要，因为它可以限度地减少阿贝偏移，从而有助于提高整体精度。

 

精雕细琢，性能

通常与提升级相关的一个主要问题是几何性能低于标准（即直线度、俯仰、滚动和偏航）。PRO-SV为这个问题提供了一种创新的解决方案。在防蠕变和交叉滚子轴承的下，移动滑块在所有方向上都得到彻底的支撑，使PRO-SV成为市场上的商用提升级。此外，无槽无刷力矩电机直接连接到大直径、精密研磨的滚珠丝杠驱动机构，以其平稳、无齿轮的运动定位重的有效载荷。缺少皮带、齿轮和挠性联轴器有助于 PRO-SV 的高可靠性，并消除了因上链和间隙过大而产生的误差源。

 

设计和集成灵活性的特性

PRO-SV专为无缝集成到多轴载物台平台，运动系统和机器中而设计。它直接安装在 Aerotech 的 PRO-SL 和 PRO-LM 线性平移台上，并配有可选的附件桌面，可将各种 Aerotech 旋转载物台或其他工艺设备集成到该台架上。直接耦合旋转编码器反馈是标准配置，并且存在几个可选的高分辨率线性编码器附加功能，以便在使用双环路反馈工作时提高精度和高带宽。当有效负载管理安全至关重要时，PRO-SV可以配置一个线性编码器以及一个保持制动器，以提供额外的保护，防止意外损坏。

 

通过热补偿减轻热错误®

温度变化和热效应可能是精密机器中误差的有害来源，丝杠传动特别容易受到影响。为了解决这个问题，PRO-SV载物台具有Aerotech的ThermoComp®功能，这是一种集成的温度补偿解决方案，可在存在热干扰的情况下提供准确可靠的定位性能。它可以保护载物台免受变温环境和摩擦引起的自发热的影响，即使在端工业环境中，终也能为用户提供过程的稳定性。

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