镀锌螺旋风管的排气有以下几种类型
(1)一般排气:其来源于机台运转发热产生不含有害物质或是高温气体,镀锌螺旋风管报价,但考虑无尘室空调负荷与过滤装置负荷,因此将废气以一般风车抽至大气排放至大气环境而不需处理。注:GEX采用镀锌螺旋风管,HEX采用SUS304酸排(SEX)、碱排(AEX)系统流程:
(2)酸碱性排气:其主要来源于化学清洗工作站,清洗晶片时所产生之挥发性气体,此气体部分含有浓烟,部分则对呼吸系统有刺激性作用有害人体,故必须经过Scrubber中水洗中和处理,再由风机排入大气。
当镀锌风管连接采用插入接口形式时,镀锌螺旋风管,接缝处的粘接应严密、牢固,外表面铝箔胶带密封的每一边粘贴宽度不应小于25mm,并应有辅助的连接固定措施。当风管的连接采用法兰形式时,法兰与风管的连接应牢固,并应能防止板材纤维逸出和冷桥。风管表面应平整、两端面平行,无明显凹穴、变形、气泡,铝箔无破损等。风管的加固,应根据系统工作压力及产品技术标准的规定执行。
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