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扩散泵是真空镀膜机的主要部件,为保证真空镀膜机的正常稳定运行,平时对真空镀膜机扩散泵的维护和保养就显得尤为重要。今天成越科仪就给大家分享一下真空镀膜机扩散泵维修与保养知识。
扩散泵工作过程中冷却水必须保证畅通,停止加热后必须保证泵工作液已完全冷却后方可关闭冷却水。
扩散泵停止工作时,泵内应保持真空状态,以免泵油劣化。
被抽气体应是干燥、无腐蚀、无灰尘的气体。
扩散泵如暂时不用,保管期间应该保持真空状态,以免泵油污染和各零件腐蚀并将冷却水套入的剩水吹净。保持场地的室温应在10-40摄氏度之间。
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扩散泵系统的压强不稳定的原因,有内部和外部之分。泵外的原因有:①来自橡胶垫圈的气泡;②从障板上滴落下的泵油;③高的前级耐压;④阱除霜;⑤阱内冷冻层的。泵内的原因有:①泵油爆沸或沸腾不稳定;②在导流管外部油的沸腾;③轻气体的低压缩比;④喷咀内的液滴;⑤顶喷咀变冷(蒸汽冷凝);⑥锅炉附近泄漏,泵体要检漏。
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高真空油扩散泵是一种蒸气射流泵,其工作原理是把工作介质(扩散泵油)的动能在抽气方向上传给被抽气体来作为基础的。扩散泵的抽气过程是被抽气体扩散到油蒸气射流中而被携带到泵出口排除的过程。其工作极限真空度在10-2~10-5 Pa范围内。应用在设备上的扩散泵工作范围在10-2~10-4 Pa范围内。
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