净化室主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度,使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造,此空间我们称之为「洁净室」.
净化车间的构成是由下列各项系统所组成(在所组成的系统分子中是缺一不可的),否则将无法构成一完整且品质良好的洁净室
(1)天花板系统:包括吊杆(Ceiling rod)、纲梁(I-Beam或U-Beam)、天花板格子梁(Ceiling grid或Ceilingframe)。
(2)空调系统:包括空气舱、过滤器系统、风车等。
(3)隔墙板(Partitional wall):包括窗户、门。
(4)地板:包括高架地板或防静电舒美地板。
(5)照明器具:包括日光灯、灯管等。
净化车间的结构材料
1.净化厂房墙、**板材一般多采用50厚的夹芯彩钢板制造,其特点为美观、刚性强。圆弧墙角、门、窗框等一般采用氧化铝型材制造。
2.地面可采用环氧自流坪地坪或耐磨塑料地板,有防静电要求的,可选用防静电型。
3.送回风管道用热镀锌板制成,贴净化保温效果好的阻燃型PF发泡塑胶板。
4.送风口用不锈钢框架,美观清洁,冲孔网板用烤漆铝板,不生锈不粘尘,宜清洁。
净化工程应设的、物流通道。人员应按规定的净化程序进入,并应严格控制人数。对于物料可在除去浮尘后拆去外缓冲间或传递柜送入。不同洁净等级 的洁净区物品则通过传递窗传送。
净化车间安装制作
1. 天花板系统:包括吊杆、纲梁、天花板格子梁,材料一般是:彩钢板与无尘板。
2. 空调系统:包括主机、风管、过滤器系统、FFU等。
3. 隔墙板:包括窗户、门,材料是彩钢板,但彩钢板的夹芯有很多种。
4. 地板:高架地板或防静电PVC地板或环氧树脂地板。
5. 照明器具:采用无尘灯具。
净化车间的安装和使用
1. 装配式净化工程的全部维修构件在工厂内按统一模数及系列加工完成,适于批量生产,质量稳定,供货迅速;
2. 机动灵活,即适合在新建厂房配套安装,也适宜老厂房的净化技术改造。维修结构也可随工艺要求任意组合,拆卸方便;
3. 需要建筑面积较小,对土建筑装修要求低;
4. 气流组织形式灵活,合理,可满足各种工作环境,不同洁净等级的需要。
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