低膨胀增量式铟钢直线光栅尺

低膨胀增量式铟钢直线光栅尺用ZeroMet™（一种低膨胀镍/铁合金）制造的铟钢栅尺，具有20 µm栅距的增量式刻线。它可与精细栅距的玻璃栅尺媲美，在1.5 m长度内的总体精度（包括斜率误差和线性误差）**±1.5 µm。ZeroMet在20 °C时的热膨胀系数为0.75 ±0.35 µm/m/°C。系统设计人员可根据要求选择背面自带的配方不干胶带或用机械夹具进行安装。两种安装方式都有助于使栅尺不受基体热膨胀影响。

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